壓電掃描臺是一款定制設計的三維運動(dòng)的壓電平臺，具有特殊的負載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用。壓電掃描臺中心具有通孔且體積小巧、無(wú)摩擦、分辨率高、響應速度快，配置高精度傳感器，可以實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有高的可靠性。產(chǎn)品主要應用于透光精密光學(xué)器件的定位與調整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統等。
采用柔性鉸鏈機構，鉸鏈機構基于固體的彈性變形，無(wú)滾動(dòng)和滑動(dòng)部分，具有零摩擦、高精度的特點(diǎn)，并且具有很高的剛度和承載能力。更重要的是，芯明天壓電納米定位臺的定位精度可達納米級甚至亞納米級。
壓電納米運動(dòng)系統采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)磨損、免維護等特點(diǎn)。同時(shí)壓電效應將電能直接轉換為運動(dòng)，在靜態(tài)操作時(shí)，即使在負載情況下，也不會(huì )消耗功率。
除了在光刻實(shí)驗中有著(zhù)應用，還在激光直寫(xiě)系統中有著(zhù)廣泛的應用。激光直寫(xiě)是利用強度可變的激光束對基片表面的抗腐蝕材料實(shí)施變劑量曝光，顯影后在抗腐蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓，激光直寫(xiě)系統的基本工作原理是由計算機控制高精度激光束掃描，在光刻膠上直接曝光寫(xiě)出所設計的任意圖形，從而把設計圖形直接轉移到掩模上。
