壓電物鏡掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體,具有四個(gè)外部電極和連續的內部電極。當電壓施加到外部電極之一時(shí),相應區域的致動(dòng)器管壁膨脹,這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉。圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。壓電管掃描器廣泛用于掃描探針顯微鏡、光纖拉伸和光束掃描等應用??筛鶕筇峁┒ㄖ瞥叽?、規格。
壓電物鏡掃描器的命名實(shí)際由它的驅動(dòng)原理及其應用目的相結合而來(lái)的。“壓電”指的是它的驅動(dòng)原理,即利用PZT壓電陶瓷來(lái)作為驅動(dòng)源從而產(chǎn)生運動(dòng);而“物鏡定位器”則是它的應用目的,即用來(lái)帶載物鏡頭調節運動(dòng)。但通常情況下,壓電物鏡定位器本身是不包含有鏡頭的,它可以根據實(shí)際使用要求帶載不同類(lèi)型的物鏡頭。
壓電物鏡定位器是專(zhuān)門(mén)為物鏡聚焦顯微而設計的,采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計,物鏡補償量較小,具有聚焦穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測、測量或者觀(guān)測裝置,帶動(dòng)物鏡聚焦進(jìn)行Z向運動(dòng)調節,能與多種高分辨率的顯微鏡配合使用,可將物鏡的聚焦精度提高至納米級。
在驅動(dòng)內部電極配置中,X和Y電極以標準方式相等且相反極性的電壓驅動(dòng)。通過(guò)向內部電極施加滿(mǎn)量程負電壓,獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料更高的正電場(chǎng)強度,其通常是負電場(chǎng)強度的五倍。要注意不要對內部電極施加正電壓,因為這會(huì )導致去極化。
壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。內部電極是連續的,外部電極是四分區的。通過(guò)用稀硝酸蝕刻可以去除表面電極??筛鶕筇峁┒ㄖ齐姌O配置。在需要高磁場(chǎng)的應用中,鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經(jīng)濟的選擇,但金電極有不錯的耐腐蝕性和導電性。