隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的深入研究，在低溫真空強磁的環(huán)境下提供納米級精密定位的應用在物理學(xué)、化學(xué)和材料學(xué)等領(lǐng)域應用越來(lái)越多，而低溫真空無(wú)磁壓電運動(dòng)平臺是一種高精度精密定位設備，主要特點(diǎn)是高精度、高穩定性和高可靠性，可在低溫、真空及磁場(chǎng)等情況下提供精密定位，在半導體加工、檢測等方面廣泛應用。

XD106.XYZ60K

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動(dòng)壓電平臺，它是專(zhuān)為超低溫、真空及無(wú)磁環(huán)境應用而設計，可進(jìn)行XYZ三維掃描運動(dòng)，采用低溫壓電驅動(dòng)，耐低溫可達4K，它的體積小巧，尺寸僅39mm×39mm×35mm，中心通孔φ10mm，非常易于集成，外殼采用輕型耐低溫、無(wú)磁材料，采用低溫雙絞線(xiàn)，以適應低溫環(huán)境下的使用。

· 低溫真空無(wú)磁，耐低溫可達4K

· XYZ三維運動(dòng)

· 4K溫度下位移達30μm/軸

· 分辨率可達2nm

· 開(kāi)環(huán)運動(dòng)控制

· 響應速度快

· 半導體加工

· 半導體檢測

· 高精密測試和操作

· 其他真空無(wú)磁要求的納米運動(dòng)控制等

芯明天設計生產(chǎn)多款壓電控制器，如模塊化、小體積型、大功率、工業(yè)式、集成式等。可根據不同應用場(chǎng)景選擇合適的壓電控制器。

E00/E01系列壓電控制器

E00/E01系列壓電控制器是模塊化式壓電控制器，模塊化，可自由選擇伺服模塊、上位機通信模塊。驅動(dòng)X(jué)D106.XYZ60K三維壓電掃描臺，選用E01.A3或E01.C3都可，后者增加了上位機通信功能。

E70.C3系列壓電控制器

E70系列壓電控制器是一款集成式壓電控制器，它的外形尺寸緊湊很多，具有三個(gè)輸出通道，可進(jìn)行上位機通信控制和模擬控制，非常適于驅動(dòng)X(jué)D106.XYZ60K三維壓電掃描臺。

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