壓電馬達是由壓電陶瓷作為驅動(dòng)馬達，利用特殊機械結構設計，將壓電陶瓷產(chǎn)生的直線(xiàn)微位移轉換為機械平面的宏觀(guān)直線(xiàn)（或角度）運動(dòng)，行程可達幾十毫米（或360°），根據運動(dòng)方式可分為直線(xiàn)壓電馬達和旋轉壓電馬達。在當今工業(yè)和高科技領(lǐng)域對高精密自動(dòng)化控制的需求下，壓電馬達由于大行程、高精度、小體積等優(yōu)勢，廣泛應用于半導體技術(shù)、光學(xué)儀器設備、醫療生物顯微設備、精密加工設備、航空航天等領(lǐng)域。

本次給大家介紹一款真空版超小體積直線(xiàn)壓電馬達，型號是N11.X3.5KZ。它采用粘滑原理，將PZT 壓電陶瓷的微運動(dòng)轉換為毫米級長(cháng)行程。它的體積非常小巧，僅15×15×7mm^3，而它的行程卻可高達3.6mm，可通過(guò)單獨使用或組合使用進(jìn)行1-3維運動(dòng)，運動(dòng)速度可達2mm/s，真空度可選10^-6或10^-9mbar版，非常適用于受限空間和環(huán)境中毫米范圍行程的調整應用。