Z向運動(dòng)大承載壓電掃描臺 - P70.Z200系列
更新時(shí)間： 2023-12-07
P70.Z200系列壓電掃描臺是一款兼具小體積、大行程、大負載特點(diǎn)的Z向運動(dòng)一維壓電掃描臺。它采用機構放大原理，無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構內置高可靠性壓電陶瓷驅動(dòng)，具有中心通孔設計，可帶動(dòng)物鏡或樣品實(shí)現納米級精度的Z向升降運動(dòng)，行程可達到200μm，承載可達500g。其內置傳感器通過(guò)全橋方式連接，無(wú)漂移，可以實(shí)現在納米范圍內精確定位，閉環(huán)分辨率6nm，重復定位精度達0.02%F.S.。產(chǎn)品在顯微成像、光學(xué)檢測、生物科技、圖像處理等領(lǐng)域廣泛應用。P70.Z200系列壓電掃描臺體積非常小巧，且具有φ10mm的中心通孔設計，尺寸如下圖所示。
P70.Z200系列壓電掃描臺在中心部位配置負載螺紋孔，便于物鏡或樣品等負載的安裝，最大承載可達500g。標準負載適配螺紋W0.8×1/36",可根據用戶(hù)不同需求定制螺紋尺寸。
P70.Z200系列壓電掃描臺閉環(huán)空載階躍時(shí)間為20ms，當帶載200g階躍時(shí)間可達30ms，響應速度快。
芯明天研發(fā)生產(chǎn)的P70.Z200系列壓電掃描臺結構中配備了籠式結構安裝通孔，可直接集成到籠式結構中。它可用于帶載物鏡，進(jìn)行Z向直線(xiàn)運動(dòng)的納米級調整，精確的調整經(jīng)物鏡聚焦后的焦點(diǎn)與樣品間的距離。
對于高分辨率顯微成像技術(shù)而言，壓電掃描臺是其中不可少的一部分，它可以帶載物鏡或樣品做Z向的聚焦或樣品位置的調節，大幅提高成像的清晰度，其精度可達納米級別。且壓電掃描臺由電信號控制，聚焦速度快，響應速度可達亞毫秒或毫秒量級。
隨著(zhù)生物醫療技術(shù)的快速發(fā)展，精密定位技術(shù)也在其領(lǐng)域中廣泛應用。如染色體的切割、細胞分離、細胞融合、納升配藥、微流體等，其中定位部分可應用壓電定位掃描臺，可利用其超高的分辨率及定位精度和抗干擾能力，進(jìn)行精確定位。
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| 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | |
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E53.D1S壓電控制器非常適用于驅動(dòng)P70.Z200系列壓電掃描臺，它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的單通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用專(zhuān)用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過(guò)優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調節與控制的精準度與穩定性，可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻率響應速度。
