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    壓電偏轉鏡在激光快速掃描系統控制中的應用

    更新時(shí)間: 2024-03-19
    激光快速掃描系統在半導體技術(shù)、航空航天、生物醫學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來(lái)越多的應用,同時(shí)對其性能要求也越來(lái)越高,受其體積,掃描頻率,掃描精度、掃描分辨率等諸多因素的影響,出現更多小型化、高速化、精準化的掃描應用場(chǎng)景,壓電偏轉鏡以其小體積、高精度、高諧振頻率等優(yōu)勢成為激光快速掃描系統中核心部件。
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    激光掃描是利用激光束的能量通過(guò)反射鏡或透鏡進(jìn)行光路的精確定位和控制,以保證激光束的穩定,可大致分為激光成像與激光加工兩種用途。

    例如,激光成像,是當激光束照射到被掃描物體表面時(shí),會(huì )被物體表面反射或散射,反射光經(jīng)過(guò)透鏡或反射鏡的聚焦,然后再次反射回掃描裝置的接收器,將物體表面反射或散射的光信號進(jìn)行收集,然后對接收的光信號進(jìn)行檢測和處理,獲得物體的一些物理特性比如大小、形狀、空間位置、空間方向、顏色、顏色變化、表面紋理、化學(xué)成分等等。

    而激光加工,是加工用的激光束通過(guò)單個(gè)或多個(gè)透射、反射鏡后,最終落在待加工物的表面,隨著(zhù)調節反射鏡的角度,從而加工不同的位置。

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    激光掃描原理圖
    其中壓電偏轉鏡可在掃描裝置中裝載鏡片進(jìn)行光路的精確定位和控制,壓電偏轉鏡具有更高的頻率、精度和響應速度,且其采用閉環(huán)控制系統具有更高的定位精度,可大幅度提高掃描效率和精度。

    芯明天壓電偏轉鏡

    芯明天壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件,內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng),補償量小,確保偏轉鏡具有很高的運動(dòng)精度和穩定性,通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。廣泛應用于光路調節、衛星激光通信、激光穩定、變形鏡、圖像處理與穩定、激光掃描、光束偏轉等。

    適用于激光快速掃描系統控制的芯明天壓電偏轉鏡系列

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    配套控制器

    高性能的壓電偏轉鏡需要匹配高性能的壓電控制器使用。芯明天根據不同使用場(chǎng)景可為客戶(hù)提供多種結構形式、多種控制方式以及多種型號的壓電控制器,以解決不同應用場(chǎng)景精密定位控制的難題。

     


    E70系列壓電控制器

    E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器,可通過(guò)串口、USB或網(wǎng)口進(jìn)行數字通信的三通道壓電控制器。

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    E80.D3-O壓電控制器

    E80.D3-O壓電控制器主要為驅動(dòng)壓電偏轉鏡而研發(fā)設計,具有3個(gè)輸出通道,其中第3路為恒壓輸出,適于差分驅動(dòng)。它具有兩種形式,可選機箱封裝式或卡板式。

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    E80.B3K-I壓電控制器

    E80.B3K-I壓電控制器是專(zhuān)為驅動(dòng)壓電偏轉鏡而設計,具有3個(gè)輸出通道,其中1通道輸出恒壓,適于差分驅動(dòng)。此外,該控制器配備有傳感信號監測部分,可反饋體現壓電偏轉鏡偏轉角度的電壓信號,適于外部閉環(huán)控制。

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    E80.B3K-J系列板卡式壓電控制器

    E80.B3K-J板卡式壓電控制器是一款通過(guò)模擬信號控制的、具有恒壓輸出的三通道壓電控制器,它配備有傳感監測模塊。

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    E80.B5S板卡式控制器

    它是一款五通道輸出的壓電控制器,專(zhuān)為同時(shí)驅動(dòng)兩臺壓電偏轉鏡而研發(fā)設計。它采用DC28V供電,輸出電壓為-20V~120V(可選 -20V~100V/150V),尺寸僅有222×180×40mm^3,它以板卡式小體積的特點(diǎn)解決了應用空間受限的問(wèn)題,并且E80.B5S使用特殊的元器件,并進(jìn)行多項處理,使其適用于宇航級應用。

     


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