壓電平移臺的主要性能特點(diǎn)
性能特點(diǎn)
1.壓電平移臺采用高性能的壓電陶瓷驅動(dòng)
2.具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種規格型號
3.采用數控、線(xiàn)切割等加工工藝，嚴格保證構結精度
4.采用計算機有限元仿真分析等現代設計方法設計微動(dòng)結構
5.采用先進(jìn)的表面處理工藝，提高了適應不同工作環(huán)境的能力
6.超高性能的開(kāi)/閉環(huán)掃描平臺
壓電平移臺內部使用無(wú)摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構，壓電平移臺采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，復合式的柔性導向系統具有超高的導向精度、有效消除側向運動(dòng)分量，同時(shí)具有高剛性、高負載、無(wú)磨損、免維護等特點(diǎn)。超大行程2000μm，壓電納米定位臺內置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電平移臺具有的運動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級。壓電平移臺為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。
