哈爾濱芯明天科技有限公司專(zhuān)注于壓電納米定位技術(shù)近二十載，已發(fā)布眾多的壓電式直線(xiàn)及角度超精密定位產(chǎn)品，并不斷進(jìn)行技術(shù)改進(jìn)，目前直線(xiàn)定位產(chǎn)品定位精度可達亞納米級，角度定位產(chǎn)品的定位精度可達納弧度級，重復度可達0.02%F.S.。

?哈爾濱芯明天科技有限公司作為中國的一個(gè)生產(chǎn)制造企業(yè)，正在并將持續不斷改進(jìn)我們的技術(shù)，提高產(chǎn)品的精度及質(zhì)量，助力于中國芯片產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展！

芯明天壓電定位產(chǎn)品之壓電物鏡定位器

壓電物鏡定位器是專(zhuān)門(mén)為物鏡聚焦顯微而設計的，采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)鏡片進(jìn)行聚焦，顯著(zhù)提高定位精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

利用芯明天壓電物鏡定位器進(jìn)行激光加工

?芯明天壓電物鏡定位器具有Z向納米級定位精度，它的主要應用之一就是激光加工，例如晶圓切割。物鏡將激光束進(jìn)行聚焦，通過(guò)壓電物鏡定位器調整激光束加工點(diǎn)的位置，調整精度為納米級，且速度可達亞毫秒。

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激光加工之晶圓切割

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激光經(jīng)過(guò)透鏡聚焦，再利用芯明天壓電物鏡定位器調整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著(zhù)激光與被切割材料的相對運動(dòng)，在切割材料上形成連續切割點(diǎn)從而達到切割的目的。

?芯明天壓電物鏡定位器部分參數：

安裝結構

為了更方便的更換物鏡，安裝座分別通過(guò)獨立的轉接件與顯微鏡和物鏡進(jìn)行連接。壓電物鏡定位器通過(guò)螺紋適配器安裝于顯微鏡與物鏡間。轉接件可選M38×0.75、M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，同時(shí)芯明天也接受定制螺紋適配器。