P63系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦、免維護等特點(diǎn)。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電平臺體積小、結構緊湊易于集成。

特性

•  1~3維自由組合

•  位移行程8μm

•  zui大承載0.8kg

•  重復定位精度可達納米級

•  亞毫秒響應時(shí)間

1-3維平移臺

P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、XYZ多種運動(dòng)方式可選。超小體積易于集成配套。

典型應用

•  顯微成像                     •  納米定位

•  生物技術(shù)                     •  半導體技術(shù)

•  質(zhì)量保證測試              •  微車(chē)削

•  原子力顯微鏡

小體積、高精度、響應速度快

P63系列壓電納米定位臺zui重要的特點(diǎn)是超級精密且體積非常小巧，尺寸僅為30×30×42mm（X軸尺寸為30×30×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。

P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設計的，具有超低慣性，響應時(shí)間可達0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

頻率負載曲線(xiàn)

應用實(shí)例

P63三維納米定位臺已經(jīng)應用于基于SEM在線(xiàn)納米切削平臺切削力測試實(shí)驗中。 

P63.XYZ技術(shù)參數

壓電納米定位臺的應用舉例

光纖端面檢測

光纖連接處出現問(wèn)題是網(wǎng)絡(luò )故障的主要原因，因此光纖端面的檢測至關(guān)重要。

壓電納米定位臺帶動(dòng)鏡片做精密運動(dòng)，配合顯微鏡完成對光纖端面質(zhì)量的干涉檢測。

光纖對接

將光纖固定在壓電納米定位臺上，通過(guò)壓電納米定位臺的精密移動(dòng)對光纖端面進(jìn)行三維位置調整，從而實(shí)現光纖的精密對接。

硬盤(pán)測試

快速、準確的讀取計算機硬盤(pán)磁道的寬度對于提高硬盤(pán)存儲信號密度和讀取時(shí)間非常重要，壓電納米定位臺納米級定位精度為高精度磁盤(pán)磁道定位提供了解決方案。

電化學(xué)加工

在電化學(xué)腐蝕加工中，通過(guò)微動(dòng)平臺Z向微小移動(dòng)，帶動(dòng)懸臂梁懸掛加工件上下移動(dòng)，完成與電解液的接觸，從而實(shí)現腐蝕加工。

3D錫膏檢測

錫膏測厚儀是一種利用光柵投影技術(shù)，將印刷在PCB板上的錫膏（紅膠）厚度、面積、體積等分布測量出來(lái)的設備。為了收集和高度有關(guān)的信息，在拍攝的圖像上采用二維壓電納米定位臺帶動(dòng)光柵移動(dòng)4次，移動(dòng)一次拍攝一組圖像，zui終合成一組圖像顯示出測試結果。