P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統中。

特性

• θx, θy 偏擺運動(dòng)，Z向升降

• 閉環(huán)定位精度高

• 響應速度快

• 透光孔：80×80mm

典型應用

• 掃描顯微

• 激光合束對準與激光致盲

• 干涉/計量

• 空間擾動(dòng)模擬系統

• 生物技術(shù)

• 掩模與晶片位置調整

超薄的設計適用于顯微應用

P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專(zhuān)門(mén)為對準、納米聚焦、計量等應用設計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。

仿真分析

通過(guò)有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導向機構偏轉臺。有限元分析技術(shù)用于設計運動(dòng)方向上zui高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運動(dòng)，因為鉸鏈機構無(wú)間隙、無(wú)摩擦。

超高導向精度、分辨率高、閉環(huán)傳感精度高

P51系列壓電偏轉臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉行程為±1.1mrad，Z軸直線(xiàn)行程可達110μm。

P51偏轉臺臺體采用無(wú)回差柔性鉸鏈導向結構，采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導向精度。

可選擇內置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保其具有的運動(dòng)控制精度，直線(xiàn)運動(dòng)分辨率可達到亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度、定位穩定時(shí)間為毫秒量級。

頻率負載曲線(xiàn)

技術(shù)參數

注： 可定制超低溫版本及超高真空版本。 連接器可定制。

應用案例

激光合束

激光合束對準的裝置涉及激光合束對準技術(shù)領(lǐng)域、光電干擾技術(shù)領(lǐng)域及激光致盲干擾技術(shù)領(lǐng)域，系統目的是實(shí)現對目標的精密跟蹤與瞄準。激光發(fā)射系統是對激光束進(jìn)行擴束、準直、聚焦的光學(xué)系統。為消除大氣抖動(dòng)、湍流等因素對激光傳輸的影響，常采用自適應光學(xué)技術(shù)，通過(guò)實(shí)時(shí)修正可調二維擺鏡，提高激光合束對準精度保證激光束聚焦良好。

顯微成像

微位移驅動(dòng)技術(shù)是精密測量與精密制造的關(guān)鍵技術(shù)之一。隨著(zhù)微納制造技術(shù)的快速發(fā)展，需求納米級驅動(dòng)控制技術(shù)的領(lǐng)域越來(lái)越多。六自由度納米工作臺已成為微小器件表面形貌測量的全場(chǎng)并行共焦顯微鏡關(guān)鍵部件，它的驅動(dòng)技術(shù)及驅動(dòng)系統可實(shí)現微動(dòng)平臺的快速調整、高精度定位和微型化。

光束掃描

偏擺臺/鏡是現代光機系統的重要組成部分之一，主要應用在高精光機系統的掃描跟蹤、光路調制和抖振抑制等。壓電偏擺臺可實(shí)現快速光束掃描，在保證精度的同時(shí)，并能保證快速跟蹤。非常適合應用在新一代的空間光機系統，如激光通信平臺、空間望遠鏡和偵查相機等。

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