壓電陶瓷驅動(dòng)電源主要功能是將微弱的外部模擬輸入信 號或計算機通過(guò)DA給出的模擬信號或其 它的控制信號，通過(guò)功率放大模塊內部的 電壓與功率放大電路將信號放大。
E09 PZT傳感控制模塊
E09系列PZT傳感控制模塊是給各類(lèi)PZT或微 動(dòng)工作臺等納米定位機構中的傳感器提供高、 高穩定性和高可靠性的激勵信號，并檢測和處理 PZT或微動(dòng)工作臺等納米定位機構中的傳感器信 號，并將該傳感器信號通過(guò)內部的算法電路完成伺 服控制。E09PZT傳感控制模塊不是一個(gè)獨立的設 備，需集成在E00/E01機箱內工作。
工作原理
壓電陶瓷類(lèi)變形鏡對高壓驅動(dòng)電源的要求除了雙極性高壓輸出和高的動(dòng)態(tài)性能外，還要求驅動(dòng)電源具有穩定性高、線(xiàn)性度好、紋波小等特點(diǎn)。通常驅動(dòng)電源采用直流放大式的原理結構，它主要由誤差放大級、高壓功率放大級、電壓負反饋網(wǎng)絡(luò )和高壓直流電源等組成。誤差放大級放大輸入低壓控制信號與電壓反饋信號的差值形成負反饋，穩定驅動(dòng)電源閉環(huán)時(shí)的電壓增益；高壓功率放大級實(shí)現電壓和電流的放大，滿(mǎn)足變形鏡驅動(dòng)對電壓和電流的要求；高壓直流電源為高壓功率放大級提供所需的高壓直流電壓。
壓電陶瓷是可以將電能轉換成位移或出力的功能性材料且越來(lái)越廣泛的被精密定位，半導體加工，顯微成像等各個(gè)領(lǐng)域所應用。
選擇壓電陶瓷驅動(dòng)電源的理由有哪些？
· 大出力
· 高機械負載能力
· 高剛度
· 高動(dòng)態(tài)性
· 真空環(huán)境兼容
· 高分辨率
