壓電納米定位臺小體積、高精度、響應速度快，定位臺是超高精密納米定位系統，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設計的，具有超低慣性，響應時(shí)間可達0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電平臺體積小、結構緊湊易于集成。
由于工藝的不斷成熟和成本的不斷下降，陶瓷電機納米定位臺的性?xún)r(jià)比已經(jīng)明顯優(yōu)于傳統壓電納米臺，甚至低于高精度的微型電機定位臺，在很多應用中已經(jīng)取代這兩種產(chǎn)品。并且，陶瓷電機技術(shù)還在向更大的推力、更高的速度、更快的調制頻率方向發(fā)展，在未來(lái)將會(huì )出現在越來(lái)越多的高技術(shù)應用領(lǐng)域。
壓電納米定位臺符合無(wú)摩擦導向原理，壓電位移臺無(wú)需維護，不存在磨損。更重要的是，其輸出運動(dòng)靈敏度不會(huì )受機械摩擦的影響。閉環(huán)產(chǎn)品（型號以S結尾）內部集成有高分辨率應變計位置傳感器，其支持高精度且可重復的運動(dòng)，而且還會(huì )對促動(dòng)器蠕變進(jìn)行補償，并且對溫度不敏感。閉環(huán)產(chǎn)品即可開(kāi)環(huán)也可閉環(huán)控制。
芯明天壓電納米定位臺的驅動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。1-3維運動(dòng)，行程范圍大可達1.1mm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn)，可以選擇配置高精度電容、電感、電阻應變計傳感器實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著(zhù)至關(guān)重要的作用。
