壓電掃描臺是用于樣品顯微成像的Z向運動(dòng)壓電掃描臺,稱(chēng)之為壓電顯微樣品臺,Z向掃描臺,Z向行程可達500μm。Z向掃描臺是專(zhuān)為生物醫療應用而設計的用于樣品顯微掃描的一維Z軸壓電掃描臺,它的外形結構易集成于顯微儀器設備中。
壓電掃描臺的應用:
顯微成像、生物技術(shù)、超分辨率顯微鏡、光學(xué)圓盤(pán)顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、篩選、干涉測量、測量技術(shù)、自動(dòng)聚焦系統、半導體測試等。
壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺,采用XY軸一體式結構設計壓電陶瓷直驅機構,中心具有通孔尺寸為25×27.5mm,產(chǎn)品體積小巧、性能穩定,N65系列掃描臺為開(kāi)環(huán)版本、動(dòng)態(tài)性好,適用于動(dòng)態(tài)掃描應用領(lǐng)域及低溫環(huán)境。
壓電掃描臺剛度大、分辨率高、諧振頻率高、動(dòng)態(tài)性能好。
采用壓電陶瓷直驅機構設計,內置高性能壓電陶瓷,產(chǎn)品體積小巧、結構緊湊,臺面四角配有通孔,便于集成與安裝。
壓電掃描臺以開(kāi)環(huán)版本為主,具有超高的分辨率,可達0.2nm。優(yōu)異的結構設計使其具有3N/μm的高剛度,XY軸空載諧振頻率均可達到1KHz,該產(chǎn)品是高速掃描應用的理想選擇。
掃描臺配套大功率E00/E01系列壓電控制器,可實(shí)現滿(mǎn)幅值階躍時(shí)間為1.5ms。