壓電掃描臺是專(zhuān)為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發(fā)設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現XY軸210μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu)化結構，具有超高的導向精度。
如今的各種激光器已經(jīng)被廣泛應用于各個(gè)工業(yè)及醫療領(lǐng)域，而飛秒激光作為微加工等領(lǐng)域的理想光源，正逐漸引發(fā)市場(chǎng)的高度關(guān)注。飛秒激光微加工的過(guò)程是將被加工的目標元件固定在壓電掃描臺上，將激光光束聚焦在準備加工的軌跡始端，調節激光能量，按照預先設計好的軌跡移動(dòng)二維壓電掃描臺進(jìn)行加工，由于壓電掃描臺的分辨率可達到納米級，精度非常高，所以這能大大提高飛秒激光加工系統的加工精度。
飛秒激光結合高精度壓電掃描臺加工各種材料的微加工方式，作為激光加工技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)分支越來(lái)越受到廣泛的關(guān)注。高精度壓電掃描臺以其精度高、性能穩定等特點(diǎn)已被廣泛應用于激光加工領(lǐng)域。
此外，壓電掃描臺還適用于需要大行程高精度的應用，該產(chǎn)品已經(jīng)成功應用于半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領(lǐng)域。與壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動(dòng)晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。
