壓電傾斜鏡的內部是由壓電陶瓷疊堆驅動(dòng)，它可以產(chǎn)生θx、θy兩個(gè)方向的同時(shí)偏轉，一般可達的偏轉行程為2°左右，同時(shí)也可產(chǎn)生Z向的升降運動(dòng)，升降的位移一般為幾百微米。
壓電傾斜鏡的特點(diǎn)是偏轉精度高，可達納弧度量級；響應速度快，可達毫秒量級；體積小巧，易集成；性能不受磁、輻射等影響；可在超低溫下使用，且可表現優(yōu)秀的產(chǎn)品性能等。
由于壓電傾斜鏡的機械諧振會(huì )降低自適應光學(xué)伺服控制系統的校正帶寬﹐特研究補償壓電傾斜鏡諧振特性的方法。根據壓電傾斜鏡機械諧振頻率特性的動(dòng)態(tài)模型和實(shí)測數據，握出了利用壓電傾斜鏡高壓驅動(dòng)器中現有的可編程邏輯門(mén)陣列(FPGA)設計多階雙二次型數字濾波器來(lái)優(yōu)化系統的動(dòng)態(tài)頻率響應特性?；诙嚯A雙二次型數字濾波器，高壓驅動(dòng)器能實(shí)時(shí)補償驅動(dòng)對象的頻率特性，完成壓電傾斜鏡的正諧振和反諧振的同時(shí)補償。將其與壓電傾斜鏡作為一體，可實(shí)現平坦的幅頻特性，從而避免機械諧振，提高伺服控制帶寬。
相關(guān)實(shí)驗結果表明：相對于傳統的高帶寬高壓驅動(dòng)器，提出的具有頻率特性補償功能的高帶寬高壓驅動(dòng)器可在同樣超調量下使系統誤差帶寬從56 Hz提高到了80 Hz，并且低頻抑制能力也得到提高。具有頻率特性補償功能的高帶寬高壓驅動(dòng)器更適合壓電傾斜鏡的高速動(dòng)態(tài)應用。
