納米定位臺為小體積1~3維壓電運動(dòng)平臺,平臺內部采用無(wú)摩擦、無(wú)空回的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優(yōu)化,柔性導向系統具有非常高的導向精度,且具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦、免維護等特點(diǎn)。壓電定位臺具有非常高的控制精度,分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級,運動(dòng)平臺采用無(wú)磁材質(zhì),使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響,且壓電平臺體積小巧、結構緊湊易于集成。
考慮到納米定位臺將要運行的環(huán)境條件,對于獲得既定應用的所需結果非常重要。
這些條件包括:真空(HV,UHV等)磁場(chǎng)、溫度、濕氣、外部振動(dòng)等。
納米定位臺可由各種材料制成,例如殷鋼,不銹鋼,鈦和鋁。每個(gè)都有優(yōu)點(diǎn);但是,將壓電平臺的材料與外部系統的材料進(jìn)行匹配以獲得最佳結果通常很重要。鋁是常用的材料,因為它具有良好的密度/剛度比。這對于需要磁場(chǎng)的應用也很好。Invar或SuperInvar之類(lèi)的材料具有較低的熱系數,當無(wú)法將溫度考慮因素隔離開(kāi)時(shí),它們可以提供穩定性。不銹鋼可用于需要更高剛度以及很高溫度穩定性的應用中。當強度,穩定性和非磁性都非常重要時(shí),可以考慮使用鈦合金材料。
定位臺可以在非磁性定位的環(huán)境中運行。平臺的設計考慮了特定的應用,并相應地由材料制成??梢葬槍μ囟☉迷O計壓電平臺,選擇本體材料是該過(guò)程的重要組成部分。大多數平臺都可以在中低真空下運行。
定位臺用于各種不同的環(huán)境。使用壓電平臺的設備中的振動(dòng)可能導致性能低于預期指標。
外部的機械干擾,附近的設備以及聲音振動(dòng)都可能導致定位不準確。為了獲得最佳結果,應使用振動(dòng)隔離來(lái)幫助控制系統中的外部振動(dòng)。
在外部環(huán)境中工作時(shí),應使壓電納米定位系統不受潮。溫度的大變化會(huì )導致設備移出壓電平臺的控制范圍。應該對此類(lèi)環(huán)境系統進(jìn)行相應規劃以獲得最佳結果。