近年來(lái)，隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展與進(jìn)步，越來(lái)越多的研究領(lǐng)域對微納控制提出了更高的要求，壓電納米定位系統也實(shí)現了不斷的突破與創(chuàng )新。哈爾濱芯明天科技有限公司專(zhuān)注于納米級精密定位產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，可實(shí)現亞納米級分辨率及納米級定位精度。

芯明天壓電納米運動(dòng)產(chǎn)品使用具有高可靠性的壓電陶瓷促動(dòng)器，在特殊的環(huán)境下也能保證壓電陶瓷的穩定性，與傳統驅動(dòng)機構相比，芯明天壓電運動(dòng)平臺采用了柔性鉸鏈機構，具有無(wú)機械摩擦、響應速度快、重復定位精度高的優(yōu)點(diǎn)，柔性鉸鏈是一種不受靜態(tài)和動(dòng)態(tài)摩擦影響的元件，柔性單元具有很高的剛度和承載能力，鉸鏈導向無(wú)需維護并且無(wú)磨損。

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目前公司產(chǎn)品已廣泛應用于半導體技術(shù)、光電子、通信與集成光學(xué)、光學(xué)儀器設備、醫療生物顯微設備、生命科學(xué)、精密加工設備、新藥設計與醫療技術(shù)、數據存儲技術(shù)、納米技術(shù)、納米制造與納米自動(dòng)化、圖像處理等領(lǐng)域，并且在籠式結構中得到了廣泛的應用。

籠式結構

光學(xué)系統搭建中傳統的調整架非常的不方，傳統光學(xué)機械是無(wú)基準系統，而且無(wú)法判斷系統中元件之間的共軸誤差，很難搭建出符合設計要求的系統，所以新型的光學(xué)機械應運而生——籠式結構。

籠式結構在光學(xué)平臺上搭建光學(xué)系統時(shí)，光軸是以光學(xué)平臺為基準參考的。系統中的元件利用機械加工的精度，保證了同軸，是有基準系統的。像光軸、籠桿和光學(xué)平臺是平行的，是有基準的。

芯明天壓電納米運動(dòng)產(chǎn)品與籠式結構的集成

芯明天設計研發(fā)了專(zhuān)門(mén)應用于籠式結構光學(xué)系統的壓電運動(dòng)產(chǎn)品，可滿(mǎn)足直線(xiàn)與角度的調節，并且具有非常強的靈活性，可任意定制外形尺寸、結構，預留用于籠式結構安裝的孔徑，使其非常易于集成到籠式結構中。下面是幾個(gè)芯明天產(chǎn)品集成于籠式結構的案例。

1.微納掃描

下方是芯明天的P76系列Z向壓電物鏡定位器集成于籠式結構中，進(jìn)行單軸Z向的微納掃描，提供毫秒級快速響應及2.5nm的分辨率，可對樣品進(jìn)行高精度的快速掃描。該結構中直接通過(guò)一個(gè)45度連接架將P76安裝于籠式結構中。

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2.表面等離子共振分析系統SPR

表面等離子共振技術(shù)，英文Surface Plasmon Resonance，簡(jiǎn)寫(xiě)為SPR，是從20世紀90年代發(fā)展起來(lái)的一種新技術(shù)，其應用SPR原理檢測生物傳感芯片（biosensor chip）上配位體與分析物之間的相互作用情況，廣泛應用于各個(gè)領(lǐng)域。

下方的籠式結構為表面等離子共振分析系統，由銳光凱奇公司搭建。該系統中采用了芯明天設計的P70.Z系列壓電納米定位臺。

P70.Z系列壓電納米定位臺可產(chǎn)生Z向8μm的行程，步進(jìn)大小由電壓控制，步進(jìn)分辨率可達0.6nm。

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 3.光鑷操作系統

下圖中為光鑷操作系統，也由銳光凱奇公司搭建。其中同樣采用了芯明天P70.Z系列壓電納米定位臺，用于精確調整經(jīng)物鏡聚焦后的焦點(diǎn)與樣品間的距離，從而配合完成光鑷操作。

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 4.干涉移相

下圖中為芯明天定制設計的一款用于籠式結構的ZT50M14移相器，其中集成了二維手動(dòng)調節鏡架，且預留了籠式結構安裝孔，并配備了芯明天M14系列壓電陶瓷促動(dòng)器，在壓電促動(dòng)器的移動(dòng)端配有鏡片粘接面，用于納米級步進(jìn)移動(dòng)鏡面的位置，從而調節反射光的光程。

ZT50M14移相器的運動(dòng)行程范圍由0~114μm范圍內自由選擇。

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 5.壓電偏轉鏡集成于籠式結構

下圖中為一款定制型壓電反射鏡，將芯明天S38壓電偏轉鏡安裝于90°轉角的連接適配架中，該S38壓電偏轉鏡采用定制設計螺紋移動(dòng)端，并配備有鏡片固定安裝帽，可將鏡片直接固定于表面，易于鏡片安裝。該90°轉角適配器直接預留籠式結構安裝孔，可將壓電偏轉鏡直接集成于籠式結構，精確調整光的路徑，精度可達納弧度級。

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 6.壓電螺釘鏡片調節架集成于籠式結構

下圖中仍是芯明天設計的一款集成于籠式結構的反射鏡架，其中鏡片的二維調節是采用兩支芯明天N81直線(xiàn)壓電螺釘驅動(dòng)，兩支壓電螺釘配合產(chǎn)生反射鏡片的偏轉運動(dòng)，具有更大的偏轉角度，適于相對較大范圍的光路調整。

壓電螺釘的直線(xiàn)運動(dòng)行程由芯明天E53.C4K壓電控制器輸出的電信號進(jìn)行控制，調節速度更快、更便捷。

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 7白光干涉儀

下圖中為白光干涉儀的籠式結構，仍由銳光凱奇公司搭建。其中采用了芯明天封裝式壓電陶瓷促動(dòng)器，用于納米步進(jìn)移相調節。芯明天的壓電陶瓷促動(dòng)器體積小、納米級高分辨率，成為白光干涉儀中高可靠性、高速的壓電移相器。

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 8邁克爾遜干涉儀

下圖中為銳光凱奇公司搭建的邁克爾遜干涉儀。其中一樣采用了芯明天封裝式壓電陶瓷促動(dòng)器，用于納米步進(jìn)移相調節。

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