精密掃描臺為1-3維直線(xiàn)掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現X、XY、XYZ大370μm的高速掃描，大通光孔徑為?35mm，多種位移行程及規格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應用。
精密掃描臺是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動(dòng)的壓電平臺，壓電掃描臺中心具有通孔且體積小巧、無(wú)摩擦、分辨率高、響應速度快，配置高精度傳感器，可以實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。產(chǎn)品主要應用于透光精密光學(xué)器件的定位與調整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統等。
精密掃描臺由容性負載驅動(dòng)，可產(chǎn)生毫秒級的響應時(shí)間，響應速度非?？?，同時(shí)由于自身的材料特性，使其在使用過(guò)程中不受干擾，能夠實(shí)現最大的性能輸出。
壓電納米運動(dòng)系統采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)磨損、免維護等特點(diǎn)。同時(shí)壓電效應將電能直接轉換為運動(dòng)，在靜態(tài)操作時(shí)，即使在負載情況下，也不會(huì )消耗功率。
壓電掃描臺應用說(shuō)明：
1、原子力顯微鏡：
閉環(huán)納米定位掃描臺作為原子力顯微鏡的一部分，可帶動(dòng)樣品進(jìn)行高速精密運動(dòng)，可以實(shí)現X、Y、Z軸最大375μm的掃描，分辨率為亞納米級，響應時(shí)間可達亞毫秒。
2、三維共焦顯微：
三維共聚焦顯微拉曼光譜分析儀器，能在納米范圍內測量物質(zhì)化學(xué)狀態(tài)的三維圖像。壓電物鏡驅動(dòng)器實(shí)現對顯微鏡在Z軸方向上的納米級在線(xiàn)實(shí)時(shí)調焦，XY二維壓電掃描臺實(shí)現對被測物高精度的二維平面位移運動(dòng)。
3、紅外熱成像掃描：
紅外熱成像通過(guò)紅外敏感CCD對物體進(jìn)行成像，能反映出物體表面的溫度場(chǎng)。二維壓電掃描臺的高速高精度掃描大大提高了熱成像的分辨率。
