熱熱鬧鬧的新春假期結束了，新的一個(gè)農歷年到來(lái)，大家也都回到了自己的崗位上，芯明天祝大家開(kāi)工大吉！ 

此次推文為大家帶來(lái)一款芯明天的六軸壓電納米運動(dòng)平臺-H61.XYZTR0S!

芯明天六軸壓電納米定位臺H61.XYZTR0S是一款六軸運動(dòng)的壓電平臺，精度高、承載大，適用于靜態(tài)六軸的直線(xiàn)納米定位及角度納弧度偏轉，中心具有通孔，適于進(jìn)行納米級高精度定位調節的透射光應用。

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺的驅動(dòng)形式不同于六自由度結構，它的外形更加常規化，運動(dòng)區域局限于中心方形移動(dòng)臺面，非常易于平臺與負載的安裝固定。

大型通孔，適于透光應用

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺的中心具有50mm×50mm的方形通孔，非常適合透射光的應用，如樣品的觀(guān)測與顯微成像等。

承載能力強，適于大負載應用

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺的承載能力可達10.5kg！非常適合較大型樣品負載的六軸納米定位。

六軸納米定位，更高精度

        H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺在X Y方向的位移為80μm（或±40μm），Z向位移達35μm，θx θy方向的偏轉行程為0.7mrad/軸（或±0.35mrad/軸），θz方向的偏轉行程為0.3mrad/軸（或±0.15mrad/軸）。

        在如此小的運動(dòng)范圍下，六軸壓電平臺可進(jìn)行更加精確的納米級直線(xiàn)運動(dòng)與納弧度級角度運動(dòng)，為應用環(huán)境提供超高精度的運動(dòng)控制。

配套控制器 - E51.D7S壓電控制器

如下圖所示，E51.D7S壓電控制器是專(zhuān)用于驅動(dòng)六軸壓電定位平臺而設計研發(fā)的低功耗、低紋波控制器，結構緊湊易于集成。與H61.XYZTR0S壓電定位平臺構成高精度六軸納米定位系統。在E51.D7S壓電控制器的控制下，H61.XYZTR0S壓電定位平臺X、Y、Z、θx、θy、θz六個(gè)維度的操作與控制將更加靈活，即使在10kg的超大負載下。

使得H61.XYZTR0S壓電定位平臺的應用范圍擴展到多個(gè)領(lǐng)域。

H61.XYZTR0S六軸定位系統

（圖左：E51.D7S壓電控制器，圖右：H61.XYZTR0S）

典型應用

• 六軸超精密位置調整

• 棱鏡位置調整

• 光學(xué)應用

• 透射光應用

實(shí)測數據曲線(xiàn)

1）角度與電壓曲線(xiàn)

2）直線(xiàn)位移與電壓曲線(xiàn)

3）階躍時(shí)間曲線(xiàn)

技術(shù)參數

型號：H61.XYZTR0S

運動(dòng)方向：X、Y、Z、θx、θy、θz

驅動(dòng)控制：7路驅動(dòng)

XYZ標稱(chēng)行程范圍（0~120V）：         

XY：±32μm/軸        

Z：28μm

XYZ行程范圍（0~150V）：        

XY：±40μm/軸        

Z：35μm

θxθy 標稱(chēng)偏轉行程（0~120V）：

±0.28mrad/軸

θz 標稱(chēng)偏轉行程（0~120V）：

±0.12mrad/軸

θxθy 偏轉行程（0~150V）：

±0.35mrad/軸

θz 偏轉行程（0~150V）：

±0.15mrad/軸

空載諧振頻率：350Hz

負載10.5kg諧振頻率：50Hz

傳感器：SGS

承載能力：10.5kg

中心通孔：50mm×50mm

外形尺寸：L200×W200×H64 mm^3

使用方式：正向使用、靜態(tài)

靜電容量：       

 XYZ  29μF/軸        

θxθyθz  15μF/軸

重量：<4kg

材質(zhì)：鋼、鋁