壓電平臺是指以壓電陶瓷驅動(dòng)器作為驅動(dòng)元件，以柔性鉸鏈機構為支撐導向的微位移運動(dòng)平臺，是實(shí)現動(dòng)態(tài)納米控制*的關(guān)鍵部分。在微操作器，磁盤(pán)驅動(dòng)、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、納米壓印、納米操縱等領(lǐng)域有著(zhù)廣泛的應用。
該平臺由壓電陶瓷驅動(dòng)器、柔性鉸鏈微位移機構、微位移測量傳感器和控制系統組成。適用于激光衛星通信、激光雷達、超分辨率光學(xué)成像、光學(xué)測量、顯微成像、半導體檢測、表面檢測、高密度存儲。
壓電納米定位產(chǎn)品具有納米級分辨率及定位精度，集成到各種相關(guān)儀器及機械設備中，從而實(shí)現高精度納米級定位與運動(dòng)。了解壓電納米定位臺的基本工作原理及性能，來(lái)選擇適合您應用的壓電納米定位臺吧。
結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X/Z/XY/XZ/XYZ軸精細運動(dòng)的壓電平臺。運動(dòng)范圍可達375μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有不錯的穩定性，壓電納米定位臺在精細定位領(lǐng)域中發(fā)揮著(zhù)至關(guān)重要的作用。
壓電納米定位臺采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，可實(shí)現亞納米級分辨率。芯明天系列壓電納米定位臺，配套系列壓電控制，可實(shí)現0.5nm的步進(jìn)分辨率。壓電納米定位臺由容性壓電陶瓷驅動(dòng)，響應時(shí)間可快至毫秒級。芯明天系列納米定位臺配套大功率系列壓電控制器，可實(shí)現滿(mǎn)幅值階躍時(shí)間為1.5ms。
