壓電物鏡掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體，具有四個(gè)外部電極和連續的內部電極。當電壓施加到外部電極之一時(shí)，相應區域的致動(dòng)器管壁膨脹，這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉。圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。
壓電物鏡掃描器在驅動(dòng)內部電極配置中，X和Y電極以標準方式相等且相反極性的電壓驅動(dòng)。通過(guò)向內部電極施加滿(mǎn)量程負電壓，獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料更高的正電場(chǎng)強度，其通常是負電場(chǎng)強度的五倍。要注意不要對內部電極施加正電壓，因為這會(huì )導致去極化。
壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。內部電極是連續的，外部電極是四分區的。通過(guò)用稀硝酸蝕刻可以去除表面電極?？筛鶕筇峁┒ㄖ齐姌O配置。在需要高磁場(chǎng)的應用中，鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經(jīng)濟的選擇，但金電極具有優(yōu)異的耐腐蝕性和導電性。
納米光刻技術(shù)是制作納米結構的基礎，激光光刻是納米光刻最主流的方式之一，特別是光子晶體，超材料的發(fā)展在很大程度上依賴(lài)于激光光刻技術(shù)的進(jìn)步，納米結構器件必將成為未來(lái)集成電路的基礎。
光刻過(guò)程是指放置在電動(dòng)平臺上的光刻膠基片隨著(zhù)電動(dòng)平臺的轉動(dòng)和平移，由聲光調制器控制光束的強弱對光刻膠進(jìn)行變劑量曝光，通常電動(dòng)平臺的定位精度達到微米或亞微米量級。然而由于慣性、靜摩擦、松動(dòng)等所造成的電動(dòng)平臺螺距誤差與偏移，將直接影響著(zhù)系統的性能和光刻元件的質(zhì)量。
