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    光路調整中,可以利用哪些壓電微納米運動(dòng)產(chǎn)品工具?

    更新時(shí)間: 2022-11-24

    光是一種電磁波,電磁波具有幅度、頻率、相位等特點(diǎn),通過(guò)調節電磁波的這三種特性,可以表達不同的狀態(tài),通常稱(chēng)為調幅、調頻、調相。

    光學(xué)科學(xué)與許多學(xué)科相關(guān),包括天文學(xué)、各種工程領(lǐng)域、攝影和醫學(xué)(尤其是眼科和驗光儀,稱(chēng)為生理光學(xué))。在各種技術(shù)和日常物體中也都可以找到光學(xué)的實(shí)際應用,包括鏡片、鏡頭、望遠鏡、顯微鏡、激光器和光纖等。

    在各種光學(xué)的應用中,想利用光達到應用的目的,就需要對光進(jìn)行控制,包括方向、相位等。而這些調整控制,都需要相應的調整工具。并且,因光的波長(cháng)一般在微米、納米間,因此對光的參數調整,通常要求非常高的精度。

    芯明天專(zhuān)注于壓電納米運動(dòng)與控制系統,專(zhuān)為高精度的運動(dòng)控制提供解決方案。在光路調整中,可以選擇芯明天的哪些壓電微納米運動(dòng)產(chǎn)品?



    光路的方向控制(光路偏轉)


    光路的方向是指光傳輸的方向,光路的方向控制是指改變光的傳輸方向。可以選擇以下幾種產(chǎn)品對光路的方向進(jìn)行調節。





    壓電偏轉鏡應用于快速光路偏轉


    芯明天壓電偏轉鏡內部采用差分控制方式,驅動(dòng)內部壓電陶瓷以推拉形式運動(dòng),使得壓電偏轉鏡的移動(dòng)平面產(chǎn)生偏轉運動(dòng)。它的特點(diǎn)是偏轉速率快、偏轉分辨率高,分別可達毫秒量級、納弧度量級。


    圖片


    芯明天壓電偏轉鏡可產(chǎn)生θx、θy兩軸偏轉運動(dòng),也可選配Z向直線(xiàn)運動(dòng)。運動(dòng)效果如下所示。

    壓電偏轉鏡的特點(diǎn)使其非常適用于光路的方向控制,且它的反應迅速,使得它的應用范圍非常廣泛,從科研到工業(yè),再到宇航,都有壓電偏轉鏡的身影。例如,在科研的激光光路穩定實(shí)驗中光路的控制,工業(yè)應用里激光加工中光路的控制,宇航中的激光通信、圖像穩定的光路控制等。


    圖片



    型號舉例

    型號
    類(lèi)型
    偏轉范圍
    分辨率
    P32
    三維運動(dòng)
    0~15mrad
    0~55μm
    0.05~0.4μrad
    0.5~2nm
    P33
    多功能型
    0~10mrad
    0.02~0.3μrad
    P34
    大負載型
    0~5.6mrad
    0.1~0.2μrad
    P35
    大角度型
    0~43mrad
    0.3~1.2μrad
    P35A
    大角度型
    0~43mrad
    0.4~1.2μrad
    S22
    θx偏轉
    0~3mrad
    0.03~0.08μrad
    S23
    中空型
    三維運動(dòng)
    0~1.5mrad
    0~10μm
    0.02μrad
    0.08nm
    S30
    高動(dòng)態(tài)
    0~3mrad
    0.02~0.1μrad
    S34
    大負載
    0~2.5mrad
    0.02~0.07μrad
    S37
    抗振型
    0~13.5mrad
    0.03~0.35μrad
    S38
    小體積
    0~2.4mrad
    0.01~0.07μrad
    XD304
    高動(dòng)態(tài)
    0~2.4mrad
    0.01~0.07μrad

    芯明天已為多顆衛星提供壓電偏轉鏡及低功耗、小體積板卡式控制系統,其中有搭載激光通信系統的低軌衛星、搭載激光通信系統的高軌衛星、搭載成像儀的低軌衛星、搭載磁象儀的低軌衛星、搭載導航系統的高軌衛星以及其他商業(yè)衛星等。芯明天已形成涵蓋工業(yè)級、*品級、宇航級多個(gè)系列的高可靠性壓電偏轉鏡與驅動(dòng)控制產(chǎn)品。





    壓電偏擺臺應用于光路偏轉


    壓電偏擺臺的原理與壓電偏轉鏡的原理基本相同,但兩者間的外觀(guān)不太相同。壓電偏擺臺是專(zhuān)為面積較大的反射或透射鏡片而設計。它具有中心通孔,且孔徑較大,可達96mm×96mm,可帶載的鏡片尺寸達110mm×110mm。


    圖片



    壓電偏擺臺的運動(dòng)軸為θx、θy,偏轉行程一般約為2mrad。壓電偏擺臺也可選擇Z向運動(dòng)。它的運動(dòng)效果如下所示。


    圖片



    壓電偏擺臺非常適用于遠距離激光合束對準應用,可將對準分辨率保持在0.01秒。



    圖片
    壓電偏擺臺的出廠(chǎng)前測試


    型號舉例

    型號
    運動(dòng)軸
    行程范圍
    承載
    能力
    分辨率
    S51.ZT1
    θxθy
    Z
    0~2.2mrad
    0~100μm
    1
    kg
    0.05~0.25μrad
    4~7nm
    S51.ZT1-C1
    θxθy
    Z
    0~2.2mrad
    0~110μm
    2.5
    kg
    0.05~0.25μrad
    4~7nm
    S51.ZT2-C1
    θxθy
    Z
    0~4mrad
    0~240μm
    1.5
    kg
    0.06~0.15μrad
    2~7nm
    S54
    θxθy
    0~2mrad
    1
    kg
    0.05~0.25μrad





    二維偏轉壓電鏡架應用于自動(dòng)光路偏轉


    二維偏轉壓電鏡架的偏轉動(dòng)作是基于兩支壓電螺釘來(lái)驅動(dòng)完成,兩軸間采用共軸心點(diǎn),每支壓電螺釘的直線(xiàn)運動(dòng)控制了相應軸的偏轉角度及方向。


    圖片



    二維偏轉壓電鏡架與壓電偏轉鏡相比,它具有更大的偏轉范圍,但它的偏轉速度相對壓電偏轉鏡要慢的多。

    運動(dòng)效果如下圖所示。

    型號舉例

    型號
    偏轉
    范圍
    卡裝鏡片直徑
    分辨率
    T25N81K8
    ±5°
    25.4mm
    0.7μrad
    T25N81K8-C
    ±2°
    12.5mm
    0.7μrad
    T50N81K13
    ±5°
    50.8mm
    0.7μrad
    T100N81K13
    ±3.5°
    101.6mm
    0.7μrad





    壓電宏微復合式移相器用于光路調節


    壓電宏微復合式移相器是手動(dòng)偏轉調節與直線(xiàn)壓電促動(dòng)相結合,手調偏轉部分具有多種調節架可選。直線(xiàn)壓電促動(dòng)器部分也具有多種選擇,可選大位移或小位移型。直線(xiàn)壓電促動(dòng)器部分,大位移版本可達百微米范圍以上,小位移版本位移約1μm左右。


    圖片



    該壓電移相器是專(zhuān)為光學(xué)相移應用而設計,它的直線(xiàn)促動(dòng)是通過(guò)電壓控制,可進(jìn)行超快速(µs級)步進(jìn)調節,同時(shí),可通過(guò)手動(dòng)調節θx、θy 兩軸的偏轉角度,角度調節范圍可達±4°。將鏡片調節與相移步進(jìn)相結合,使其更方便于像移、干涉測量等光路調節應用。

    它的運動(dòng)效果如下所示。

    型號舉例

    型號

    手調偏轉范圍

    壓電直線(xiàn)范圍

    壓電驅動(dòng)電壓

    ZT50M14S7(帶傳感器)

    ±3°

    9μm

    0~150V

    ZT50M14K7

    ±3°

    9μm

    0~150V

    ZT50M14S120
    (帶傳感器)

    ±3°

    114μm

    0~150V

    ZT35H80K

    ±4°

    3.73μm
    (0.7μm@150V)

    0~800V



    光路的直線(xiàn)調節


    光路的直線(xiàn)調節是指不改變光的方向,只對光的直線(xiàn)傳輸的路徑進(jìn)行調節,可以改變光的相位、頻率等。





    PZT壓電陶瓷片/疊堆應用于光路的直線(xiàn)調節


    壓電陶瓷片/疊堆是相對較小的移相器,最小的尺寸可達1.22×1.3×1.7mm^3。在使用中,需將反射鏡片或透射鏡片直接粘貼于壓電陶瓷片/疊堆上。


    圖片



    PZT壓電元件在電壓驅動(dòng)下,產(chǎn)生直線(xiàn)運動(dòng)位移,從而帶動(dòng)反射鏡片/透射鏡片進(jìn)行直線(xiàn)前進(jìn)或后退,從而引起光路徑長(cháng)度的變化。


    參數舉例

    圖片



    注:芯明天具有上千種壓電陶瓷型號,詳細參數請見(jiàn)芯明天產(chǎn)品樣冊或。

    PZT壓電陶瓷產(chǎn)生的位移量與施加的電壓成基本的線(xiàn)性關(guān)系。例如,一款陶瓷在150V驅動(dòng)下可達的位移為9μm,則在施加15V驅動(dòng)電壓時(shí),它產(chǎn)生的位移約0.9μm。

    PZT壓電陶瓷片/疊堆的體積小、精度高,非常適用于受限空間中的光路調整。但壓電陶瓷一經(jīng)粘貼鏡片后,不可進(jìn)行拆卸,因為拆卸的過(guò)程會(huì )造成壓電陶瓷的損壞。





    封裝式壓電陶瓷促動(dòng)器應用于光路直線(xiàn)調整


    封裝式壓電陶瓷促動(dòng)器是將PZT壓電陶瓷元件封裝于內部,并預加有預載力。封裝壓電促動(dòng)器的結構不僅對壓電陶瓷進(jìn)行非常好的保護,同時(shí)它可以工作在更高的頻率下,可動(dòng)態(tài)使用。


    圖片



    封裝式壓電促動(dòng)器的鏡片安裝接口也更靈活,鏡片可粘貼于鏡片座上,鏡片座通過(guò)螺紋安裝于壓電促動(dòng)器的移動(dòng)端,易于鏡片更換。


    型號舉例

    型號
    直線(xiàn)行程
    空載諧振頻率
    外徑
    PSt150/4/7 VS9
    9μm
    40kHz
    9mm
    PSt150/5/7 VS10
    9μm
    40kHz
    10mm
    PSt150/7/40 VS12
    38μm
    20kHz
    12mm
    PSt150/10/100 VS15
    95μm
    10kHz
    15mm
    ZT50M14K60
    57μm
    15kHz
    14mm

    注:更多型號請詳見(jiàn)芯明天產(chǎn)品手冊或。

    封裝式壓電陶瓷促動(dòng)器也具有環(huán)形中孔版本,中心具有通孔,且配備有鏡片安裝帽,鏡片安裝、更換更便捷。中心通孔尺寸由直徑4.5mm至24mm不等。


    圖片







    機構放大促動(dòng)器應用于直線(xiàn)光路調整


    機構放大促動(dòng)器是將PZT壓電陶瓷元件的位移進(jìn)行放大并輸出的促動(dòng)器,它適用于光學(xué)調整中要求大位移的應用。并且,該種壓電促動(dòng)器可選配閉環(huán)反饋傳感器,可對壓電促動(dòng)器的位移進(jìn)行線(xiàn)性控制。


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    型號舉例

    型號
    P87.X38S
    單位
    行程范圍
    38
    μm
    驅動(dòng)電壓
    150
    V
    傳感器
    SGS

    空載固有頻率
    1200
    Hz





    壓電光纖相位調制器應用于光路調整


    芯明天壓電光纖相位調制器是一種光纖拉伸裝置,可對纏繞于其外徑凹槽內的光纖進(jìn)行拉伸,拉伸的長(cháng)度、頻率可調。

    在使用芯明天光纖相位調制器時(shí),需注意光纖纏繞的圈數,要保證壓電光纖相位調制器的出力滿(mǎn)足光纖拉伸的出力要求。


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    型號舉例

    型號
    H01.6
    單位
    徑向標稱(chēng)行程@120V
    5.6
    μm
    每圈光纖拉伸長(cháng)度@120V
    28
    μm
    徑向標稱(chēng)行程@150V
    7
    μm
    每圈光纖拉伸長(cháng)度@150V
    35
    μm
    徑向最大推力
    250
    N
    空載諧振頻率
    9500
    Hz
    外形尺寸
    OD 55,H 8
    mm





    壓電宏微復合平臺應用于光路調整


    當利用光纖對光進(jìn)行傳輸時(shí),兩束光的對準、耦合就會(huì )要求非常高的對準精度。芯明天壓電宏微復合平臺可選1至3維運動(dòng),是千分尺粗調與壓電精調的結合。


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    型號舉例

    型號
    X65P83S/K
    XYZ65P84S/K250
    運動(dòng)軸
    X
    X Y Z
    粗調行程
    13mm
    13mm
    精調行程
    25μm
    250μm
    分辨率
    0.5nm
    2nm
    承載能力
    1.5kg
    0.2kg





    壓電移相器應用于光路調整


    芯明天具有幾十種壓電移相器,中心孔徑由φ36mm至φ310mm不等,承載能力可高達25kg,可正立、倒置、側臥等使用,是專(zhuān)門(mén)針對各類(lèi)光學(xué)鏡片檢測儀器設計、生產(chǎn),如激光干涉儀。


    圖片



    芯明天壓電移相器產(chǎn)生一維直線(xiàn)運動(dòng),行程在12μm以上,采用直驅式驅動(dòng),因此承載能力強,步進(jìn)分辨率高。


    型號舉例

    型號
    中心孔徑
    分辨率
    承載能力
    P77.S/K36
    φ36mm
    0.2nm
    正立:7kg
    臥式:1kg
    倒置:5kg
    P77.S/K106
    φ106mm
    0.2nm
    正立:15kg
    臥式:5kg
    倒置:10kg
    P77.S/K154
    φ155mm
    0.2nm
    正立:25kg
    臥式:20kg
    倒置:25kg
    P77.S/K310
    φ310mm
    0.2nm
    正立:12kg
    臥式:12kg
    倒置:12kg
    P77A.100S/K75
    φ75mm
    1nm
    倒置:3kg





    壓電物鏡定位器應用于光學(xué)聚焦


    芯明天壓電物鏡定位器是專(zhuān)門(mén)為光的聚焦而設計的Z向運動(dòng)壓電微運動(dòng)臺,采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計,具有超高聚焦穩定性。光路通過(guò)物鏡頭進(jìn)行聚焦,焦點(diǎn)的位置是通過(guò)壓電物鏡定位器進(jìn)行調節,調節的精度可達納米量級。

    壓電物鏡定位器一般裝入顯微檢測/測量或觀(guān)測裝置,帶載物鏡頭進(jìn)行精密定位調整,可與多種高分辨率顯微鏡配合使用。


    圖片



    芯明天壓電物鏡定位器的運動(dòng)效果如下圖所示。


    圖片



    型號舉例

    型號
    Z向行程
    分辨率
    承載能力
    P72.Z100
    100μm
    1nm
    0.2kg
    P73.Z200
    200μm
    2nm
    0.2kg
    P73.Z500
    500μm
    4nm
    0.4kg
    P73.Z1000
    1000μm
    8nm
    0.2kg
    P76.Z50
    75μm
    1nm
    0.5kg
    P76.Z50A
    50μm
    0.5nm
    0.5kg
    P76.Z100
    100μm
    1nm
    0.5kg
    P76.Z200
    200μm
    2nm
    0.5kg
    XD730.400
    400μm
    4nm
    0.5kg
    XD730.500
    500μm
    5nm
    0.5kg
    XP-721
    100μm
    1nm
    0.2kg

    ...



    圖片

    結語(yǔ)

    圖片


    以上展示了芯明天部分應用于光路調整的壓電微運動(dòng)產(chǎn)品,更多光路調整應用產(chǎn)品,將持續更新。

    若您對壓電納米運動(dòng)與控制產(chǎn)品的選擇有疑問(wèn),歡迎您聯(lián)系芯明天,我們的工程師將為您推薦適用于您應用的壓電微運動(dòng)產(chǎn)品。

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