新品推薦！芯明天閉環(huán)三維壓電螺釘運動(dòng)平臺
更新時(shí)間： 2023-02-09
此次為大家帶來(lái)一款閉環(huán)式、三維運動(dòng)、壓電螺釘驅動(dòng)的壓電運動(dòng)平臺。使用過(guò)壓電螺釘運動(dòng)平臺的用戶(hù)都會(huì )了解，一般情況下，這種運動(dòng)平臺都是開(kāi)環(huán)的，沒(méi)有閉環(huán)伺服控制傳感器。但考慮到用戶(hù)在大行程運動(dòng)控制下對高精度的要求，芯明天專(zhuān)門(mén)設計、研發(fā)了XYZ65N81E26壓電螺釘運動(dòng)平臺，該平臺配備了增量式編碼器，對運動(dòng)行程、精度等可進(jìn)行精確控制，且精度可達1.5μm。
芯明天XYZ65N81E26壓電螺釘運動(dòng)平臺XYZ65N81E26壓電螺釘運動(dòng)平臺是采用壓電螺釘驅動(dòng)，壓電螺釘的運動(dòng)是通過(guò)內部壓電陶瓷的微運動(dòng)，驅動(dòng)螺紋桿旋轉，從而沿著(zhù)螺紋向前運動(dòng)。螺紋桿的推動(dòng)，使得載物移動(dòng)平臺臺面的直線(xiàn)運動(dòng)。
下方測試結果是在1.5kg負載、28.8℃溫度、31%濕度下測得。
從測試結果中可看出，X、Y、Z三個(gè)方向的定位精度均可達到1.5μm以?xún)?。運動(dòng)效果如下視頻所示。
注：視頻60倍率播放。
芯明天可根據用戶(hù)的參數要求定制壓電螺釘運動(dòng)平臺，自由選擇一至三維運動(dòng)版本，自由選配增量式編碼器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可達10^-6mbar以上。
XYZ65N81E26壓電螺釘運動(dòng)平臺是三維直線(xiàn)運動(dòng)版本，因其大行程及高精度的特點(diǎn)，非常適用于半導體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業(yè)精密定位等領(lǐng)域。
XYZ65N81E26壓電螺釘運動(dòng)平臺采用芯明天自研生產(chǎn)的E53.D1E壓電伺服控制器，可通過(guò)串口與上位機進(jìn)行連接通信，通過(guò)上位機軟件，對壓電螺釘運動(dòng)平臺進(jìn)行運動(dòng)的控制，可設置運動(dòng)速度等參數。
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