S22系列壓電偏轉鏡是一維θx軸偏轉鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導向設計具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩定性。光束偏轉范圍可達8mrad, 具有極快的響應速度（毫秒至微秒級），非常適于動(dòng)態(tài)操作（例如跟蹤、掃描、漂移及 振動(dòng)消除）及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。

特性：

• θx一維偏轉 • 大偏轉角度4mrad • 亞毫秒響應時(shí)間 • 閉環(huán)定位精度高

典型應用

• 圖像處理與穩定 • 隔行掃描、抖動(dòng)

• 激光掃描 • 光束偏轉

• 光學(xué)濾波器/開(kāi)關(guān)

結構原理

小體積、高動(dòng)態(tài)、開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選平臺由一個(gè)鉸鏈支撐，并且由一個(gè)線(xiàn)性壓電促動(dòng)器推動(dòng)。鉸 鏈確定了軸心點(diǎn)，兼起到給壓電促動(dòng)器施加預緊力的作用。單個(gè) 鉸鏈單個(gè)促動(dòng)器設計的優(yōu)點(diǎn)是結構簡(jiǎn)單、體積小巧、性?xún)r(jià)比高 等。如果角度偏轉時(shí)工作環(huán)境溫度變化范圍較大，推薦使用差分 驅動(dòng)壓電偏轉鏡。

  壓電驅動(dòng)俯仰/偏轉臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉，相移 器）提供比音圈電機類(lèi)產(chǎn)品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉范圍 為4mrad，偏轉分辨率達0.1μrad，開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選，閉環(huán)傳感器 包括應變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。

超小體積設計，具有非?？斓捻憫俣?，可帶載?15mm的 鏡片實(shí)現0.8ms的階躍時(shí)間。

S22系列壓電偏轉鏡技術(shù)參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。