產(chǎn)品名稱(chēng):P32系列壓電偏轉鏡
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點(diǎn):P32系列壓電偏轉鏡Z向/俯仰/偏轉鏡提供兩軸的高速精密偏轉運動(dòng)及Z軸直線(xiàn)升降運動(dòng),直線(xiàn)運動(dòng)的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧 度,響應時(shí)間可達毫秒量級。P32壓電偏轉鏡體積小巧、結構緊湊,可實(shí)現大6mrad偏轉,Z軸40μm的直線(xiàn)運動(dòng)。
更新日期:2021-10-15
P32系列壓電偏轉鏡Z向/俯仰/偏轉鏡提供兩軸的高速精密偏轉運動(dòng)及Z軸直線(xiàn)升降運動(dòng),直線(xiàn)運動(dòng)的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧 度,響應時(shí)間可達毫秒量級。P32系列壓電偏轉鏡體積小巧、結構緊湊,可實(shí)現大6mrad偏轉,Z軸40μm的直線(xiàn)運動(dòng)。
特性:
• θx, θy偏轉,Z軸升降 • 大偏轉范圍6mrad • 毫秒級響應時(shí)間
• 閉環(huán)定位精度高
• 溫度穩定性高
工作原理
P32偏轉鏡是基于3個(gè)壓電陶瓷機構設計而成的,由三支壓 電陶瓷驅動(dòng),以120°角平分放置,采用坐標變換,運動(dòng)可以分不 同機構之間控制。這種結構設計除了可實(shí)現平臺的傾斜,也可實(shí) 現平臺Z向的直線(xiàn)移動(dòng),可以用于校正光學(xué)路徑長(cháng)度。其中, A、B、C表示測量的3點(diǎn)處位移量,兩軸擺角及Z向位移的簡(jiǎn)便計 算公式分別如下,
典型應用
• 圖像處理與穩定 • 光學(xué)捕獲
• 激光掃描與光束偏轉 • 激光調諧
• 光過(guò)濾/光開(kāi)關(guān) • 光學(xué)/光束穩定
高分辨率、高穩定性及動(dòng)態(tài)性
P32壓電偏轉鏡體積緊湊,內部裝配帶有預緊的高可靠性壓電 促動(dòng)器,集成在復雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導向系統。壓電 促動(dòng)器是疊堆共燒型壓電陶瓷,比傳統的壓電促動(dòng)器提供更好的性 能及可靠性。
P32壓電偏轉鏡采用基于平行運動(dòng)學(xué)的壓電陶瓷直驅式三腳架 結構,數十億次的運動(dòng)周期操作而*或性能下降,非常適合 工業(yè)應用。
三腳架結構設計在較大的溫度范圍內提供優(yōu)化的角度穩定 性。這種設計具有體積更小巧、兩軸具有相同的大小及動(dòng)態(tài)性能、 更快的響應速度及更好的線(xiàn)性度等優(yōu)勢,也防止了偏振旋轉。
負載頻率曲線(xiàn) 推薦控制器
E01 | E00 | E70 |
頁(yè)碼 157 | 頁(yè)碼 157 | 頁(yè)碼 167 |
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3路輸出(1路恒壓) | 3路輸出(1路恒壓) | 3路輸出(1路恒壓) |
模擬、上位機通信、旋鈕 | 模擬、上位機通信、旋鈕 | 模擬與數字控制 |
開(kāi)環(huán)閉環(huán) | 開(kāi)環(huán)閉環(huán) | 開(kāi)環(huán)閉環(huán) |
平均功率7W | 平均功率35W/通道 | 平均功率5W/通道 |
技術(shù)參數
型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P32.ZT4S P32.ZT4K | 單位 |
運動(dòng)自由度 | θx, θy, Z | ||
θx, θy標稱(chēng)偏轉角度(0~120V) | 5 | mrad±20% | |
Z向標稱(chēng)行程(0~120V) | 30 | μm±20% | |
θx, θy大偏轉角度(-20~150V) | 6 | mrad±20% | |
Z向大行程(-20~150V) | 40 | μm±20% | |
傳感器類(lèi)型 | SGS/- | ||
閉/開(kāi)環(huán)θx, θy偏轉分辨率 | 0.1/0.05 | μrad | |
閉/開(kāi)環(huán)Z向直線(xiàn)分辨率 | 1/0.5 | nm | |
閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.05/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復定位精度 | 0.02/- | %F.S. | |
空載諧振頻率(θx, θy) | 2 | kHz±20% | |
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 5/2 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 500 | Hz±20% |
行程 | 40 | ||
靜電容量 | 3.6/軸 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋼 | ||
重量 | 350 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
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