型號

P84.X100S

P84.X100K

單位

運動(dòng)自由度

X

X

行程范圍

13mm+110µm

13mm+110µm

粗調+精調

平直度

<3

<3

µm/13mm

重量

400

400

g±5%

殼體材料

鋼、鋁

鋼、鋁

外形尺寸（長(cháng)×寬×高）

140×90×23

140×90×23

mm×mm×mm

手動(dòng)調節部分-千分尺

粗調行程范圍

13

13

mm

粗調分辨率（千分尺）

10

10

µm

導軌

交叉滾柱導軌

交叉滾柱導軌

驅動(dòng)方式

螺紋副（分厘卡）

螺紋副（分厘卡）

千分尺靈敏度

<2

<2

µm

臺面尺寸

65×65

65×65

mm×mm

千分尺讀數

10

10

（微米/格）

千分尺螺距

0.5

0.5

mm/rev.

壓電驅動(dòng)精調部分-壓電驅動(dòng)

精調行程范圍

0~120 V，Nominal

80

80

µm±20%

-20~150 V，Max

110

110

µm±20%

傳感器類(lèi)型

SGS

-

步進(jìn)/分辨率

7

2.5

nm, typ.

閉環(huán)線(xiàn)性度(壓電驅動(dòng))

0.1

-

%F.S.

重復定位精度

0.05

-

%F.S.

運動(dòng)方向推力

16

16

N

剛度

1

1

N/µm±20%

承載能力（Z向）*

500

500

g

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

°C

靜電容量

1.8

1.8

µF±20%

出線(xiàn)長(cháng)

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器

LEMO

LEMO