快速刀具定位器可進(jìn)行防塵防液滴處理，使其能工作在濕度環(huán)境。

定位器臺體材料采用不銹鋼材質(zhì)以加工過(guò)程中的穩定性，可以結構穩定可靠，加工精度不會(huì )因顫動(dòng)而受影響。

快速刀具定位臺采用的壓電陶瓷的出力是其他壓電納米定位臺出力的幾倍。

不同于振動(dòng)加工，刀具位置可以通過(guò)內置傳感進(jìn)行 反饋控制，實(shí)現納米級分辨率。

尾綴K-開(kāi)環(huán)

運動(dòng)自由度

X

X

X

運動(dòng)和定位

標稱(chēng)行程范圍（0~120V）

95

95

95

µm±20%

行程范圍（0~150V）

118

118

118

µm±20%

傳感器類(lèi)型

CAP

-

分辨率

15

20

10

nm，typ.

閉環(huán)線(xiàn)性度

0.1

0.15

-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.03

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

<20

<20

<20

µrad

機械性能

運動(dòng)方向推/拉力

300/25

300/25

300/25

N

運動(dòng)方向剛度

3

3

3

N/µm±20%

空載諧振頻率

0.2

0.2

0.2

kHz±20%

空載階躍時(shí)間

30

30

7

ms±20%

空載工作頻率*

10%行程

50

50

>50

Hz±20%

行程

10

10

>10

承載能力

20

20

20

Kg

驅動(dòng)性能

靜電容量

15

15

15

μF±20%

其他

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

-20~80

°C

材質(zhì)

鋼

鋼

鋼

外形尺寸（長(cháng)×寬×高）

120×60×60

120×60×60

120×60×60

mm

重量

3500

3500

3500

g±5%

出線(xiàn)長(cháng)

1.5

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器***

LEMO

LEMO

LEMO