產(chǎn)品名稱(chēng):超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺
產(chǎn)品型號:XD106.XYZ60K
產(chǎn)品特點(diǎn):超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺,是一款三維運動(dòng)壓電平臺,它是專(zhuān)為超低溫、真空及無(wú)磁環(huán)境應用而設計
更新日期:2023-08-16
超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺
由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動(dòng)壓電平臺,它是專(zhuān)為超低溫、真空及無(wú)磁環(huán)境應用而設計,可進(jìn)行XYZ三維掃描運動(dòng),采用低溫壓電驅動(dòng),耐低溫可達4K,它的體積小巧,尺寸僅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外殼采用輕型耐低溫、無(wú)磁材料,采用低溫雙絞線(xiàn),以適應低溫環(huán)境下的使用。
超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺產(chǎn)品特點(diǎn)
· 低溫真空無(wú)磁,耐低溫可達4K
· XYZ三維運動(dòng)
· 4K溫度下位移達30μm/軸
· 分辨率可達2nm
· 開(kāi)環(huán)運動(dòng)控制
· 響應速度快
產(chǎn)品應用
· 半導體檢測
· 高精密測試和操作
· 其他真空無(wú)磁要求的納米運動(dòng)控制等
技術(shù)參數
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