產(chǎn)品名稱(chēng)：N31系列三維壓電馬達
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品報價(jià)：
產(chǎn)品特點(diǎn)：N31系列三維壓電馬達，可在XYZ三個(gè)方向運動(dòng)，配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內部采用PZT壓電式驅動(dòng)，每軸運動(dòng)行程可選25、50、100mm，可達納米級分辨率。
更新日期：2023-09-07
N31系列三維壓電馬達
三維閉環(huán)壓電馬達可在XYZ三個(gè)方向運動(dòng)，配備有增量式編碼器進(jìn)行閉環(huán)控制。內部采用PZT壓電式驅動(dòng)，每軸運動(dòng)行程可選25、50、100mm，可達納米級分辨率。
產(chǎn)品特點(diǎn)
行程25、50、100mm/軸可選
納米級分辨率
增量式編碼器
承載達2.5kg
產(chǎn)品應用
超分辨成像樣品移動(dòng)
微納裝備及制造
掃描電鏡（SEM）樣品操縱
納米聚焦與掃描
主動(dòng)光學(xué)
集成電路制造與檢測
顯微及納米CT
大范圍電子束直寫(xiě)（EBL）
高真空樣品精度對準及調姿
N31系列三維壓電馬達
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