產(chǎn)品名稱(chēng):H60六自由度并聯(lián)機構壓電偏擺臺
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品特點(diǎn):H60六自由度并聯(lián)機構壓電偏擺臺,是六自由度微操作、微電子精密加工等應用。H60.XYZTR5S/K是H60系列中直線(xiàn)與角度位移一款。
更新日期:2023-09-21
H60六自由度并聯(lián)機構壓電偏擺臺
H60系列六自由度并聯(lián)機構,是θx, θy, θz, X, Y, Z六軸運動(dòng)工作臺,通過(guò)六支壓電促動(dòng)器的協(xié)調伸縮實(shí)現空間內六個(gè)自由度的運動(dòng),臺體結構緊湊,三種規格型號可供選擇,閉環(huán)型號定位精度高,是六自由度微操作、微電子精密加工等應用。H60.XYZTR5S/K是H60系列中直線(xiàn)與角度位移一款。
產(chǎn)品特點(diǎn)
六維θx, θy, θz, X, Y, Z軸運動(dòng)
小耦合
閉環(huán)定位精度高
誤差無(wú)積累
H60六自由度并聯(lián)機構壓電偏擺臺
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