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    產(chǎn)品名稱(chēng):P66A.X30壓電納米定位臺

    產(chǎn)品型號:

    產(chǎn)品報價(jià):

    產(chǎn)品特點(diǎn):P66A.X30壓電納米定位臺,為一維×向運動(dòng)壓電平臺,可進(jìn)行38um范圍內的納米級位置調整。

    更新日期:2023-11-11

    P66A.X30壓電納米定位臺的詳細資料:

    P66A.X30壓電納米定位臺

    P66A.X30壓電納米定位臺

    技術(shù)參數
    機構型號位移[μm]分辨率[nm]諧振頻率[kHz]承載[kg]
    X軸直驅機構P63.X780.120.8
    直驅機構P63.X18-D1180.320.5
    直驅機構P66.X30300.758
    直驅機構P66.X60600.81.36
    直驅機構P66A.X3039520.1
    直驅機構XP-630.X150.13.25
    直驅機構XP-631.X300.22.45
    直驅機構XP-633.X600.31.55
    放大機構P60.X250±16550.490.6
    放大機構N60.X30340.51.80.5
    放大機構XP-611.X10010040.280.8
    放大機構P11.X10011040.30.8
    放大機構N60.X30300.51.80.5
    Z軸直驅機構P63.Z76.80.12.50.8
    直驅機構P63.Z8-D180.310.5
    放大機構P11.Z10010040.70.8
    放大機構P11.Z20020040.180.5
    放大機構P11.Z30030050.120.4
    放大機構P60.Z25025030.261
    放大機構P60.Z50050050.292
    放大機構P66.Z30301.411
    放大機構XP-611.Z10010040.281.2
    放大機構P80.Z10011030.40.8


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