P83系列壓電驅動(dòng)測微頭是將標準的測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結合，通過(guò)手動(dòng)調節大范圍的測微頭實(shí)現13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm，再通過(guò)控制驅動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應伸長(cháng)或縮短到預定位置，從而實(shí)現對壓電陶瓷驅動(dòng)測微頭高分辨率的精調節，壓電陶瓷行程范圍可達20μm,壓電陶瓷運動(dòng)的分辨率可＜1nm，這個(gè)壓電驅動(dòng)測微頭可以對元件進(jìn)行大行程、高精度定位。

 P84系列壓電驅動(dòng)測微頭是將測微頭與高分辨率的壓電陶瓷結構相結合，通過(guò)手動(dòng)調節測微頭實(shí)現大范圍的位移, 再通過(guò)控制驅動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應伸長(cháng)或縮短到預定位置，從而實(shí)現對壓電陶瓷驅動(dòng)測微頭的精調節，壓電陶瓷行程范圍可達110μm, 壓電陶瓷運動(dòng)的分辨率達2.5nm，測微頭的分辨率是10μm，整體結構可以對元件進(jìn)行大行程、高精度定位。