XP-62X系列壓電納米定位臺是采用VS12系列促動(dòng)器直接驅動(dòng),具有大承載、快速響應、高可靠性和長(cháng)壽命等特點(diǎn),SGS傳感器實(shí)現全閉環(huán)運動(dòng)、高諧振頻率和更大的拉力是該定位臺的優(yōu)勢。該系列定位臺可以組合成二維、三維的微動(dòng)臺產(chǎn)品。
XP-63X系列壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直接驅動(dòng)結構設計,具有快速響應、高可靠性和長(cháng)壽命等特點(diǎn),該系列微動(dòng)臺可以組合成二維、三維的微動(dòng)臺產(chǎn)品。
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