1.二維XZ向壓電納米定位臺特性
• 1~3維自由組合 • 位移行程8μm • 亞毫秒響應時(shí)間 • zui大承載0.5kg • 重復定位精度可達納米級
外觀(guān)形狀
產(chǎn)品運動(dòng)示意圖
直驅機構式驅動(dòng)示意圖
小體積、高精度、響應速度快
傳感器類(lèi)型
頻率負載曲線(xiàn)
P63系列壓電納米定位臺zui重要的特點(diǎn)是超級精密且體積非常小巧，P63.XZ二維的尺寸僅為30×30×33mm（X軸尺寸為30×30×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。
P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設計的，具有超低慣性，響應時(shí)間可達0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。
2.二維XZ向壓電納米定位臺應用
• 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導體技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制
應用實(shí)例：納米切削
P63三維納米定位臺已經(jīng)應用于基于SEM在線(xiàn)納米切削平臺切削力測試實(shí)驗中。
二維XZ向壓電納米定位臺技術(shù)參數
型號
尾綴S-閉環(huán)
P63.XZ7S
P63.XZ7K
單位
尾綴K-開(kāi)環(huán)
運動(dòng)自由度
X、Z
同S
標稱(chēng)行程范圍（0 ~+120 V）
5.5/軸
µm±20%
zui大行程范圍（-20~+150 V）
8/軸
SGS
-
分辨率
0.2
0.1
nm
線(xiàn)性度
%F.S.
重復定位精度
俯仰/偏航/滾動(dòng)
<10
µrad.
推/拉力
9/2
N
運動(dòng)方向剛度
X1.2/Z1.5
N/µm±20%
空載諧振頻率
X1.5/Z1.6
KHz±20%
空載階躍時(shí)間
1.5
0.3
ms±20%
空載工作頻率*
10%行程
500
>200
Hz±20%
行程
100
>50
zui大承載能力
g
靜電容量
0.8/軸
μF±20%
工作溫度范圍**
-20~80
°C
材質(zhì)
鋁
外形尺寸（長(cháng)×寬×高）
30×30×33
mm
重量
120
g±5%
出線(xiàn)長(cháng)
m±10mm
傳感/電壓連接器***
LEMO
17051647888
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