運動(dòng)方式  

   頻率負載曲線(xiàn)  

  閉環(huán)曲線(xiàn)  

閉環(huán)傳感輸出監測電壓與偏轉鏡輸出偏轉角度成線(xiàn)性關(guān)系。

  小體積、高動(dòng)態(tài)、開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選  

   結構原理  

壓電驅動(dòng)俯仰/偏轉臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉，相移器）提供比音圈電機類(lèi)產(chǎn)品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉范圍 4mrad，偏轉分辨率達0.1μrad，開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選，閉環(huán)傳感器包括應變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。

超小體積設計，具有非?？斓捻憫俣?，可帶載Ø15mm的鏡片實(shí)現0.8ms的階躍時(shí)間。

平臺由一個(gè)鉸鏈支撐，并且由一個(gè)線(xiàn)性壓電促動(dòng)器推動(dòng)。鉸鏈確定了軸心點(diǎn)，兼起到給壓電促動(dòng)器施加預緊力的作用。單個(gè)鉸鏈單個(gè)促動(dòng)器設計的優(yōu)點(diǎn)是結構簡(jiǎn)單、體積小巧、性?xún)r(jià)比高等。

如果角度偏轉時(shí)工作環(huán)境溫度變化范圍較大，推薦使用差分驅動(dòng)壓電偏轉鏡。

維θx向壓電偏轉鏡 4mrad  應用  

  產(chǎn)品測試  

       • 圖像處理/穩定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動(dòng)  • 光束偏擺/穩定  • 光學(xué)、激光掃描、通信  • 光過(guò)濾/轉換  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡