1.二維θxθy向壓電偏擺臺特性 • θx, θy偏擺運動(dòng)，zui大偏轉角度±1.1mrad/軸 • 開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄 2.二維θxθy向壓電偏擺臺外觀(guān)形狀 | 產(chǎn)品運動(dòng)示意圖 | 閉環(huán)曲線(xiàn) | 
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閉環(huán)傳感精度高 | 頻率負載曲線(xiàn) | 應用實(shí)例-激光合束/軍事激光武器 | P54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析優(yōu)化，使角度偏移達到zui小，無(wú)空回、無(wú)摩擦。 采用壓電陶瓷驅動(dòng)實(shí)現zui大偏轉范圍±1.1mrad，分辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實(shí)現0.1%F.S.的重復定位精度。 臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為80×80mm，P54壓電偏轉臺是亞微弧度精密光束調整、計量、定位等應用的選擇。 | 
| P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用 于軍事激光武器等領(lǐng)域。 
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負載大鏡片 | 驅動(dòng)方式 | | 
P54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應用，負載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。 | 
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| 校準調測 | 震動(dòng)實(shí)驗 |
3.二維θxθy向壓電偏擺臺驅動(dòng)方式 P54壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，通過(guò)控制電壓的大小，對不同的光路距離，可進(jìn)行一定范圍的圓形范圍掃描，如下右圖所示。 
應用 • 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲 • 干涉/計量 • 空間擾動(dòng)模擬系統 • 光路調整 • 掩模與晶片位置調整 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結構分析 |
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