1.壓電移相器壓電偏轉鏡特性
• θx,θy二維偏轉及Z向升降運動(dòng)，zui大偏轉角度0.8mrad，zui大直線(xiàn)位移8μm • 分辨率高 • 溫度穩定性高 • 亞毫秒響應時(shí)間
開(kāi)環(huán)、高動(dòng)態(tài)性、中心通孔
頻率負載曲線(xiàn)
驅動(dòng)控制
P36壓電偏轉鏡/移相器為多軸俯仰升降臺，產(chǎn)品體積為Ø20×19.5mm，可以實(shí)現θx, θy軸0.8mrad的偏轉，Z軸12μm的升降，開(kāi)環(huán)版本具有超高的分辨率及超快的響應速度，三角架結構設計具有超寬的使用溫度范圍。
臺體中心帶有通孔孔徑為Ø10mm，適用于需要透光的應用，如光過(guò)濾等。
P36系列壓電偏轉鏡/移相器有兩個(gè)版本可選，開(kāi)環(huán)Z向平臺或開(kāi)環(huán)Z向/俯仰/偏轉臺，Z向升降平臺提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動(dòng)），Z向升降/俯仰/偏轉定位臺可實(shí)現垂直（活塞運動(dòng)）定位及俯仰/偏轉定位。
P36壓電偏轉鏡/移相器內部三支壓電陶瓷促動(dòng)器并聯(lián)連接，提供頂部環(huán)在垂直方向的定位（活塞運動(dòng)）時(shí)，只需一個(gè)驅動(dòng)通道。
提供Z向升降/俯仰/偏轉運動(dòng)時(shí)，需三個(gè)驅動(dòng)通道。
2.壓電移相器壓電偏轉鏡運動(dòng)方式
可配套鏡片轉接座
應用
P36壓電偏轉鏡/移相器可選擇配套鏡片轉接座方便鏡片的安裝與固定。
• 圖像處理/穩定 • 干涉法 • 激光掃描/光束偏轉 • 激光調諧 • 光過(guò)濾/開(kāi)關(guān) • 光束穩定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動(dòng) • 光束偏擺/穩定 • 光學(xué)、激光掃描、通信 • 光學(xué)濾波器/開(kāi)關(guān) • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應光學(xué)、穩像 • 干涉
3.壓電移相器壓電偏轉鏡產(chǎn)品測試
型號
尾綴K-開(kāi)環(huán)
P36.Z1K
P36.ZT1K
單位
運動(dòng)自由度
Z
θx,θy,Z
運動(dòng)和定位
θx, θy標稱(chēng)偏轉角度（0~+120V）
-
0.55
mrad±20%
Z向直線(xiàn)標稱(chēng)行程（0~+120V）
8
µm±20%
θx, θyzui大偏轉角度（-20~+150V）
0.8
Z向直線(xiàn)zui大行程（-20~+150V）
12
θx,θy偏轉分辨率
0.02
µrad
Z向直線(xiàn)分辨率
0.1
nm
機械性能
空載諧振頻率
7.5
θx3.2/θy3.5/Z7.5
kHz±20%
空載階躍時(shí)間
0.5
ms±20%
空載工作頻率*
10%行程
2000
1500
Hz±20%
行程
200
150
驅動(dòng)性能
靜電容量
μF/軸±20%
其他
工作溫度范圍**
-20~80
°C
材質(zhì)
鋼
外形尺寸（外徑-內徑/高）
20-10/19.5
mm
重量
50
80
g±5%
出線(xiàn)長(cháng)
1.5
m±10mm
電壓連接器***
LEMO
*若此工作頻率已非常接近或超過(guò)諧振頻率，建議在遠小于諧振頻率以下使用，若必須在此頻率下工作，輸入電壓一定要足夠小，請務(wù)必從zui小信號逐漸調試。** 可定制超低溫版本及超高真空版本。 *** 連接器可定制。 注：以上所提參數與測試環(huán)境、測試設備有關(guān)。 運動(dòng)臺面平行度約20μm，粗糙度約1.6至3.2，特殊要求請在購買(mǎi)前與銷(xiāo)售工程師確認。
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