P17系列壓電掃描臺是專(zhuān)門(mén)為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發(fā)設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應用。
P17.XY二維XY軸壓電掃描臺,zui大行程可達210μm。壓電驅動(dòng)、無(wú)摩擦、柔性鉸鏈導向系統使得這一系列產(chǎn)品實(shí)現納米級的分辨率,毫秒級的響應時(shí)間,非常適合于顯微及掃描中的樣品定位。 特性 • 二維XY向運動(dòng),zui大行程210μm/軸 • zui大承載1kg • 臺體中心方形通孔,尺寸為60×60mm • 閉環(huán)重復定位精度高 • 響應速度快 應用: 晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動(dòng)聚焦檢測系統•顯微光學(xué)成像
哈爾濱芯明天科技有限公司致力于壓電納米定位產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售,主要服務(wù)于制造精密設備的的客戶(hù)。經(jīng)過(guò)二十多年的快速發(fā)展,公司已獲得*認定,獲得產(chǎn)品30多項并取得軟件著(zhù)作權、全部產(chǎn)品擁有自主知識產(chǎn)權、公司產(chǎn)品已覆蓋全國各地高校、科研院所以及精密設備制造企業(yè),并遠銷(xiāo)歐、美、日、韓等地。公司與中國高科技企業(yè)、國家重點(diǎn)實(shí)驗室建立了合作伙伴關(guān)系,已經(jīng)成為中國專(zhuān)業(yè)的精密定位產(chǎn)品生產(chǎn)商。
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