壓電馬達內部仍為壓電陶瓷驅動(dòng),它分為直線(xiàn)運動(dòng)型及角度運動(dòng)型,利用粘滑原理,通過(guò)壓電陶瓷的快速振動(dòng),達到微納米級的步進(jìn),總直線(xiàn)運動(dòng)行程范圍可達幾百毫米,角度行程可達360度。 應變傳感器主要用于測量一個(gè)結構表面的形變,具有非常高的測量敏感度,可間接進(jìn)行力的測量,力的過(guò)程監控等。 特性: · 偏轉角度:6°(±3°)θ X θ Y · 分辨率:2.9’’ · 鏡片直徑:12.7m · 中空直徑:9mm · 外形尺寸:30.5×24m 應用: · 微米納米技術(shù) · 生物科技 · 顯微 · 電信 · 計量、激光系統 |