P12系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動(dòng)、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿(mǎn)足顯微等應用。壓電掃描臺可以實(shí)現單軸320μm的位移行程，一體式結構使得多維運動(dòng)無(wú)耦合、多種規格型號可選，以滿(mǎn)足不同應用的需求。 P12.X/Z-D3為一維X或Z軸運動(dòng)壓電掃描臺，結構緊湊，外形尺寸70×70×24mm，zui大行程可達110μm。壓電驅動(dòng)、無(wú)摩擦、柔性鉸鏈導向系統使得這一系列產(chǎn)品實(shí)現納米級的分辨率，毫秒級的響應時(shí)間，臺體中心中孔尺寸達Φ35mm，非常適合于顯微及掃描中的樣品定位。 特性 • 一維X/Z向運動(dòng)，zui大行程110μm/軸 • zui大承載0.7kg • 通孔尺寸：Ø35mm(Ø25mm可選 ) • 閉環(huán)重復定位精度高 • 響應速度快 外觀(guān)形狀 | P12.X-D3運動(dòng)示意圖 | P12.Z-D3運動(dòng)示意圖 | 
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小體積、大位移、中心通孔 | 頻率負載曲線(xiàn) | P12.Z300閉環(huán)穩定時(shí)間圖 | P12系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理，超小的體積外形，尺寸僅為70×70×24mm，P12.X/Z-D3可以實(shí)現zui大110μm/軸的掃描范圍，中心通孔可選35mm或25mm，25mm通孔對應臺體外形尺寸為60×60×24mm。 臺體采用FEA有限元分析優(yōu)化設計，具有零摩擦、超高導向精度、納米級分辨率等優(yōu)點(diǎn)。 P12系列壓電掃描臺內置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷，確保了掃描臺的可靠性與穩定性。 | 
| P12系列壓電掃描臺具有優(yōu)異的階躍穩定性，下圖為P12.Z300zui大位移320μm閉環(huán)穩定時(shí)間圖。 
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應用 • 圖像處理與穩定 • 精密定位 •光學(xué)捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 半導體測量 • 表面檢測 • 光學(xué)計量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定 • 生物技術(shù) • 表面結構分析 P12全系列產(chǎn)品 P12系列壓電掃描臺包括X/XY/XZ/XYZ四種運動(dòng)結構形式，可以滿(mǎn)足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。同時(shí)，P12具有兩種通孔直徑可供選擇，分別為25mm、35mm。 中孔直徑25mm版本： 
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| P12.X一維 110μm運動(dòng)范圍 | P12.Z一維 110/210/320μm運動(dòng)范圍 | P12.XY二維 110μm/軸運動(dòng)范圍 | P12.XZ二維 110μm/軸運動(dòng)范圍 | P12.XYZ三維 110μm/軸運動(dòng)范圍 |
中孔直徑35mm版本： 
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| | | P12.X/Z-D3一維 110μm運動(dòng)范圍 | P12.XY/XZ-D3二維 110μm運動(dòng)范圍 | P12.XYZ-D3三維 110μm運動(dòng)范圍 | | |
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