P76系列壓電物鏡定位器是專(zhuān)門(mén)為物鏡聚焦顯微而設計的,采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)物鏡頭聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。 P76系列為大負載壓電物鏡定位器,承載力zui大可達500g,并帶動(dòng)大負載物鏡做高速運動(dòng)。閉環(huán)精度高,滿(mǎn)行程線(xiàn)性度達20nm,可進(jìn)行激光聚焦,已廣泛應用于激光晶圓切割等半導體器件及微電子加工領(lǐng)域中。P76物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接,將物鏡快速鎖定在預期位置。多種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯微鏡集成安裝。 P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡 等多種標準鏡頭。它也可以通過(guò)適配器與手動(dòng)調節臺相結合使用。 特性 • Z向運動(dòng),zui大行程110μm • zui大承載0.5kg • 毫秒級響應時(shí)間 • 閉環(huán)重復定位精度高 • 聚焦穩定性好 產(chǎn)品組成及運動(dòng)方向 | 產(chǎn)品運動(dòng)示意圖 | 可裝配多種品牌、尺寸的物鏡 | | | |
大負載、高頻響、高分辨率 | 頻率負載曲線(xiàn) | 應用實(shí)例-超精密激光加工 | P76納米掃描聚焦系統的設計是為了大負載、大孔徑物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到zui快的階躍時(shí)間。它極其堅固的設計提供了非??斓姆€定時(shí)間及掃描頻率,即使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅動(dòng)器的旋轉對稱(chēng)排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設計,使它具有較高的剛度,同時(shí)保證了優(yōu)異的導向精度和動(dòng)態(tài)性。 P76壓電物鏡定位器的zui大通光孔徑為22mm,zui大負載為500g,它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場(chǎng)物鏡。 | | |
響應時(shí)間可調節 | 驅動(dòng)方式 | 閉環(huán)曲線(xiàn) | 配不同控制與承載響應時(shí)間可調。 | | |
應用 • 三維成像 • 自動(dòng)聚焦系統 • 晶圓切割 • 干涉/計量 • 半導體測試 • 表面檢測 • 共焦顯微 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結構分析 |