XP-721系列壓電物鏡定位器是專(zhuān)門(mén)為物鏡聚焦顯微而設計的,采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦穩定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)物鏡頭聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。 XP-721系列為小體積常規型壓電物鏡定位器,采用分離式螺紋適配器設計,可與多種顯微鏡配套使用。種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯微鏡集成安裝。 特性 • Z向運動(dòng),zui大行程110μm • zui大承載0.2kg • 毫秒級響應時(shí)間 • 閉環(huán)重復定位精度高 • 聚焦穩定性好 外觀(guān)形狀 | 產(chǎn)品運動(dòng)示意圖 | 可裝配多種品牌、尺寸的物鏡 | | | |
快速安裝、高穩定性、長(cháng)使用壽命 | 頻率負載曲線(xiàn) | 應用實(shí)例-倒置光學(xué)顯微鏡 | XP-721壓電物鏡定位器為通用型顯微成像聚焦定位器,采用壓電陶瓷驅動(dòng),可實(shí)現的掃描范圍為110μm。 產(chǎn)品通過(guò)螺紋適配器安裝于透鏡連接架與物鏡間。將物鏡定位器主體通過(guò)螺紋連接到透鏡轉動(dòng)架上,再將物鏡連接到定位器上,這種設計使得拆卸物鏡時(shí)不需要拆下其它組件。 物鏡定位器內置高可靠性壓電陶瓷,與優(yōu)異的機械結構相結合,具有穩定性好、使用壽命長(cháng)等優(yōu)點(diǎn)。 | | XP-721系列壓電物鏡定位器安裝在倒置光學(xué)顯微鏡中。 |
響應時(shí)間可調節 | 驅動(dòng)方式 | 閉環(huán)曲線(xiàn) | 配不同控制與承載響應時(shí)間可調。 | | |
應用 • 三維成像 • 精密定位 • 掃描顯微 • 干涉/計量 • 半導體測試 • 表面檢測 • 光學(xué)計量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結構分析 |