P13系列壓電納米定位臺為二維XY、三維XYZ壓電平臺，臺體采用平行運動(dòng)學(xué)機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，zui大位移為 40μm/軸。開(kāi)環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品主要應用于光學(xué)顯微、生物科技等領(lǐng)域。 典型應用
• 2D/3D掃描系統 • 光路調整
• 半導體技術(shù) • 微操作
• 原子力顯微鏡 • 納米定位
P13系列壓電納米定位臺特點(diǎn)： • 2~3維運動(dòng) • 位移行程40μm • 體積小巧 • 亞毫秒響應時(shí)間    二、三維平移臺
P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ 軸兩個(gè)規格型號。   超小體積、無(wú)機械間隙、高分辨率 
固態(tài)鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動(dòng)無(wú)機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動(dòng)直線(xiàn)性好。P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳 感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動(dòng)態(tài)使用，是掃描應用的 理想選擇。 閉環(huán)階躍穩定時(shí)間圖 P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩定時(shí)間約為30ms。 技術(shù)參數 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P13.XY40S P13.XY40K | P13.XYZ40S P13.XYZ40K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | X、Y | X、Y、Z | | 標稱(chēng)行程范圍（0~120V） | 30/軸 | 30/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 40/軸 | 40/軸 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <5 | <5 | µrad | 推/拉力 | 5/2 | 8/3 | N | 運動(dòng)方向剛度 | X0.15/Y0.2 | X0.1/Y0.15/Z0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | X0.45/Y0.55 | X0.35/Y0.4/Z0.58 | kHz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 30/2 | 30/3 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | 35 | Hz±20% | 行程 | 5 | 3 | zui大承載 | 0.05 | 0.05 | kg | 靜電容量 | 0.8/軸 | 0.8/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 110 | 220 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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