P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺，平臺內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體的結構設計，多維運動(dòng)無(wú)耦合。 機構放大式驅動(dòng)原理，內置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現110μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結 構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦、免維護等特點(diǎn)。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩定 性可以達到納米量級，定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無(wú)磁材質(zhì)，使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)的影響，壓電定位臺體積小、結構緊湊 易于集成。 技術(shù)參數 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P11.X100S P11.X100K | P11.Z100S P11.Z100K | P11.XY100S P11.XY100K | P11.XZ100S P11.XZ100K | P11.XYZ100S P11.XYZ100K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | X | Z | X、Y | X、Z | X、Y、Z | | 標稱(chēng)行程范圍（0~120V） | 80 | 80 | 80/軸 | 80/軸 | 80/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 110 | 110 | 110/軸 | 110/軸 | 110/軸 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.01/- | 0.01/- | 0.02/- | 0.02/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <5 | <5 | <8 | <8 | <10 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 25/10 | 25/10 | 30/5 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 0.3 | 0.3 | X0.25/Y0.3 | X0.25/Z0.3 | X0.25/Y0.3/Z0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 0.3 | 0.3 | X0.2/Y0.3 | X0.2/Z0.3 | X0.2/Y0.3/Z0.18 | kHz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/0.8 | 15/0.8 | 20/0.8 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 | 100 | 100 | 100 | 50 | Hz±20% | 行程 | 9 | 10 | 9 | 9 | 5 | zui大承載 | 0.8 | 0.8 | 0.7 | 0.7 | 0.6 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 1.8 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 100 | 100 | 170 | 170 | 230 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 P11系列壓電納米定位臺特點(diǎn)： • • 1~3維運動(dòng) • 位移行程110μm • 體積小巧 • 毫秒級響應時(shí)間 • 納米級定位精度  1~3維平移臺
P11系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ等多種運動(dòng)結構?？梢詫?shí)現110μm的精密運動(dòng)。 大行程、閉環(huán)版本定位精度高、響應速度;原子力探針掃描顯微鏡   P11系列納米定位臺采用機構放大設計原理，內置高 可靠性壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，可以實(shí)現1~3維110μm的精密運動(dòng)。 該系列壓電納米定位臺可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測反饋，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環(huán)壓 電控制器可以實(shí)時(shí)對位移進(jìn)行精密調整，實(shí)現納米級的精密定位控制。P11系列壓電納米定位臺的響應速度非?？?，配套E52系列壓電控制器可實(shí)現0.8ms的階躍時(shí)間。
典型應用
• 納米定位 • 生物技術(shù)
• 質(zhì)量保證測試 • 微加工/精密控制 |
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