N60系列壓電納米定位臺為一維X軸壓電平移臺,內置高性能壓電陶瓷可以實(shí)現X軸zui大34μm的位移,優(yōu)異的機構放大設計原理,X 軸運動(dòng)直線(xiàn)性好,開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選,產(chǎn)品體積小巧、結構緊湊、集成度高,是小體積高精度一維精密定位的理想選擇。 N60系列壓電納米定位臺典型應用 • 光纖定位 • 光學(xué)掃描 • 微操作 • 納米定位 N60系列壓電納米定位臺技術(shù)參數: 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | N60.X30S N60.X30K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | X | | 標稱(chēng)行程范圍(0~120V) | 24 | μm±20% | zui大行程范圍(-20~150V) | 34 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 1/0.5 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.5/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.3/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <10 | µrad | 推/拉力 | 8/2 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 0.6 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 1.8 | kHz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/2 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 | Hz±20% | 行程 | 10 | zui大承載 | 0.5 | kg | 靜電容量 | 0.8 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | | 重量 | 80 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 N60系列壓電納米定位臺特點(diǎn): • 一維X軸 • 超小體積 • 位移行程34μm • 毫秒級響應時(shí)間 一維X軸平移臺 N60為一維X軸運動(dòng)平臺,臺面兩個(gè)安裝螺紋孔,便于安裝負載。 高分辨率、高諧振頻率、體積小巧 高分辨率 N60配套E53壓電控制器,可實(shí)現0.5nm的步進(jìn)分辨率。 N60采用機構放大設計原理,一維X軸運動(dòng)行程34μm, 體積小巧、結構緊湊,尺寸為28╳28╳12.5mm。。 N60壓電納米定位臺采用機構放大設計原理,優(yōu)異的結構設計,無(wú)摩擦無(wú)后坐力,具有非常高的分辨率以及良好的 動(dòng)態(tài)性能,空載諧振頻率達1800Hz。產(chǎn)品穩定性好、無(wú)漂移、使用壽命長(cháng),體積小巧,方便與其他系統結構進(jìn)行集成安裝等優(yōu)異的性能使其適合于光學(xué) 顯微掃描、精密加工、微操作等應用。 |