P66系列壓電納米定位臺是一維X軸壓電平移臺，它以壓電陶瓷為驅動(dòng)源并采用直驅式驅動(dòng)機構，是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位 系統?？梢酝ㄟ^(guò)疊加組合的方式組成二、三維壓電納米定位臺，實(shí)現XYZ軸34μm的位移行程，可選擇內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)納米級 精密定位控制。產(chǎn)品已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。 開(kāi)環(huán)與閉環(huán)版本可選P66系列壓電納米定位臺可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版 本，閉環(huán)版本壓電納米定位臺內部配有高分辨率及快 速響應的應變傳感器（SGS），配備在驅動(dòng)機構的合 適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信 號。 傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列 納米定位臺可以實(shí)現滿(mǎn)行程0.05%的線(xiàn)性度與重復 度。 應用實(shí)例：原子力探針掃描顯微鏡芯明天P66.XY壓電納米定位臺以其高響應頻率、高精度、高可 靠性等優(yōu)勢廣泛應用于原子力探針掃描顯微鏡中。 P66系列壓電納米定位臺特點(diǎn)： zui大位34μm• 開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選 • zui大承載5kg• 重復定位精，可達納米級• 亞毫秒響應時(shí)間 P66系列壓電納米定位臺典型應用
• 干涉/ 掃描 • 計量
• 質(zhì)量保證測試 • 微加工/精密控制
• 光盤(pán)驅動(dòng)測試 • 半導體技術(shù) P66系列壓電納米定位臺技術(shù)參數： | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P66.X30S P66.X30K | P66.XY30S P66.XY30K | P66.XYZ30S P66.XYZ30K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | X | X、Y | X、Y、Z | | 標稱(chēng)行程范圍（0~120V） | 24 | 24/軸 | 24/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 34 | 34/軸 | 34/軸 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <15 | <15 | <15 | µrad | 推/拉力 | 150/15 | 120/15 | 80/15 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 5 | X4/Y4.2 | X2.8/Y3/Z3.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 2.6 | X1.1/Y1.8 | X1.2/Y0.8/Z0.5 | kHz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 5/0.8 | 5/0.8 | 10/0.8 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 500 | 260 | 150 | Hz±20% | 行程 | 50 | 25 | 15 | zui大承載 | 5 | 4.5 | 3.5 | kg | 靜電容量 | 3.6 | 3.6/軸 | 3.6/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | 鋁 | | 重量 | 120 | 260 | 500 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
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