P17壓電掃描臺是專(zhuān)門(mén)為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發(fā)設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可 靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現XY軸210μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應用。

P17壓電掃描臺典型應用

• 圖像處理與穩定    
• 掃描顯微
• 干涉/計量    • 表面檢測
• 晶圓定位    • 微操作

應用實(shí)例
    P17系列壓電掃描臺適用于需要大行 經(jīng)成功應用于半導體測試、表面結構分析 天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動(dòng)晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。

P17壓電掃描臺特性

•zui大位移210μm

• zui大承載1kg

• 通孔尺寸：60×60mm

• 閉環(huán)重復定位精度高 • 響應速度快

XY二維掃描臺

      P17二維壓電掃描臺中心大通孔，滿(mǎn)行程位移210μm。

大通孔、大行程、穩定性好、響應速度快

   P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動(dòng)快速、高精度 掃描臺，可以實(shí)現XY軸210×210μm的位移行程，優(yōu)異 的結構設計無(wú)摩擦、導向精度高、響應速度快、zui快的 響應時(shí)間可達5毫秒。

    閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列 閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩定性。臺體中心 60×60mm大通孔，適合工業(yè)自動(dòng)化中的晶圓定位或微 操作等應用。

P17壓電掃描臺技術(shù)參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。