P76系列壓電物鏡定位器為大負載壓電物鏡定位器,負載能力可達500g,Z軸直線(xiàn)運動(dòng)范圍可達110μm,采用柔性鉸鏈設計機構,無(wú) 摩擦,直線(xiàn)性好,閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡。 典型應用 • 三維成像 • 干涉/計量 • 自動(dòng)聚焦系統 • 共焦顯微 • 晶圓切割 • 半導體測試 螺紋適配器便于安裝 P76物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接,將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙可選 ,如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。 大負載、高頻響、高分辨率 P76納米掃描聚焦系統的設計是為了大負載、大孔徑 物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到快的階躍時(shí)間。它 極其堅固的設計提供了非??斓姆€定時(shí)間及掃描頻率,即 使帶載幾百克的物鏡時(shí)。多個(gè)壓電驅動(dòng)器的旋轉對稱(chēng)排列 及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設計,使它具有較高的剛度,同 時(shí)保證了優(yōu)異的導向精度和動(dòng)態(tài)性。 P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm,大 負載為500g,它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用 的大視場(chǎng)物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、 奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。它也可以通過(guò)適配器與 手動(dòng)調節臺相結合使用。 特性: • 位移行程110μm • 大負載500g • 毫秒級響應時(shí)間 • 閉環(huán)重復定位精度高 • 聚焦穩定性好 技術(shù)參數: 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P76.Z100S P76.Z100K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | Z | | 標稱(chēng)行程范圍(0~120V) | 80 | μm±20% | 大行程范圍(-20~150V) | 110 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 5/2.5 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.05/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.02/- | %F.S. | 推/拉力 | 70/10 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 0.8 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 800 | Hz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 5/2 | ms±20% | 閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 400 | Hz±20% | 行程 | 50 | 大承載 | 0.5 | kg | 靜電容量 | 7.2 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | | 重量 | 520 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 |