P77系列壓電掃描臺為一維Z軸運動(dòng)平臺，壓電平臺中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅機構，內置高性能壓電陶瓷，可以實(shí)現Z 軸20μm的位移行程，無(wú)摩擦柔性導向機構具有超高的分辨率，閉環(huán)版本定位精度可達納米級，是光學(xué)移相器的選擇。 P77壓電掃描臺特性： Z軸運動(dòng) • 大行程20μm • 大承載5kg • 通孔直徑：Ø106mm P77壓電掃描臺典型應用• 顯微成像 • 表面檢測 • 閉環(huán)重復定位精度高 • 干涉/計量 • 精密定位 • 移相器 • 光學(xué)捕獲 應用案例 大孔徑、大承載、高諧振頻率 P77系列壓電掃描臺采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導向機構設計， 利用有限元分析優(yōu)化， 剛度可達8 N/ μm，空載諧振頻率 300Hz。 閉環(huán)版本內置高精度傳感器，對位移實(shí)時(shí)監測反饋，可 實(shí)現納米級的重復定位精度及線(xiàn)性度。 壓電掃描臺中心106mm的大通光孔，該產(chǎn)品已廣泛應用于激光平面干涉儀等設備。 芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特 點(diǎn)廣泛應用于現代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。 技術(shù)參數： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P77.Z20S P77.Z20K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | Z | | 標稱(chēng)行程范圍（0~120V） | 14 | μm±20% | 大行程范圍（-20~150V） | 20 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | | 通孔尺寸 | Ø106 | mm | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 1/0.5 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <10 | µrad | 推/拉力 | 120/50 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 8 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 300 | Hz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 5/2.5 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 60 | Hz±20% | 行程 | 10 | 大承載 | 5 | kg | 靜電容量 | 5.4 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | | 重量 | 1600 | g±5% |
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