特性 1~3維自由組合 大行程68μm 大承載5kg 重復定位精度可達0.05%F.S. 亞毫秒響應時(shí)間 1-3維平移臺 XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過(guò)疊加的方式組成XY,XZ,XYZ多種運動(dòng)結構。多種規格型號可選。 柔性鉸鏈采用精密線(xiàn)切割技術(shù)。 體積小、剛度大、響應速度快、閉環(huán)精度高 XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結構設計,具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負載情況下也具有很高的使用頻率,響應時(shí)間可以實(shí)現亞毫秒級。例如XP-630帶動(dòng)20g負載,響應時(shí)間僅為5ms。 XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧,XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm,易于與其他平臺設備集成。閉環(huán)版本配置應變傳感器,可實(shí)時(shí)檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器,控制器通過(guò)PID算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正,從而實(shí)現納米級的精密定位。 應用實(shí)例 采用XP-633壓電納米定位臺帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測控制,從而完成1mN的精確力控制實(shí)驗。 |